맞춤기술찾기

이전대상기술

질화갈륨 기판 제조 장치

  • 기술번호 : KST2015027223
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 질화갈륨 기판 제조 장치에 관한 것으로, 밀폐되고, 타 측면에 가스 배출관이 장착된 챔버와; 상기 챔버의 일 측면에 장착되며, NH3 가스를 상기 챔버 내부로 주입하는 제 1 가스 공급관과; 상기 챔버의 일 측면에 상기 제 1 가스 공급관과 일정거리 이격되어 장착되고, GaCl 가스를 상기 챔버 내부로 주입하는 제 2 가스 공급관; 상기 챔버 내부의 제 1 가스 공급관과 제 2 가스 공급관 사이 하부에 위치되며, 상부에 복수개의 사파이어 기판이 올려져 있는 서셉터와; 상기 제 1과 2 가스 공급관의 면에 각각 형성되며, 밀폐 수단을 구비한 복수개의 구멍(Opening)들로 구성된다. 따라서, 본 발명은 대면적의 질화갈륨 기판을 제조할 수 있고, 제조된 질화갈륨 기판의 특성을 향상시킬 수 있으며, 부산물이 가스 공급관에 쌓이는 것을 방지할 수 있으며, 동시에 다수의 질화갈륨 기판을 제조할 수 있는 효과가 발생한다. 질화갈륨, 기판, 가스 공급관, 구멍, 밀폐, 다수
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/67126(2013.01) H01L 21/67126(2013.01)
출원번호/일자 1020030005637 (2003.01.28)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0941207-0000 (2010.02.01)
공개번호/일자 10-2004-0069170 (2004.08.04) 문서열기
공고번호/일자 (20100210) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.18)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이석우 대한민국 서울특별시서초구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0032194-28
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2003.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2003-0055522-32
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2007.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0910388-88
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0029787-93
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0287664-53
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0443284-86
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0443283-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
12 등록결정서
Decision to grant
2009.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0496084-28
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
밀폐되고, 타 측면에 가스 배출관이 장착된 챔버와; 상기 챔버의 일 측면에 장착되며, NH3 가스를 상기 챔버 내부로 주입하는 제 1 가스 공급관과; 상기 챔버의 일 측면에 상기 제 1 가스 공급관과 일정거리 이격되어 장착되고, GaCl 가스를 상기 챔버 내부로 주입하는 제 2 가스 공급관; 상기 챔버 내부의 제 1 가스 공급관과 제 2 가스 공급관 사이 하부에 위치되며, 상부에 복수개의 사파이어 기판이 올려져 있는 서셉터와; 상기 제 1과 2 가스 공급관의 면에 각각 형성되며, 밀폐 수단을 구비한 복수개의 구멍(Opening)들로 구성되며, 상기 밀폐 수단을 구비한 복수개의 구멍들은, 전자적으로 밀폐를 제어할 수 있는 밸브들인 것을 특징으로 하는 질화갈륨 기판 제조 장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 가스 공급관은 상기 제 1 가스 공급관과 평행하게 챔버에 장착된 것을 특징으로 하는 질화갈륨 기판 제조 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제 1과 2 가스 공급관의 면에 각각 형성된 복수개의 구멍(Opening)들은 사파이어 기판의 상부에서 마주보며 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 질화갈륨 기판 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.