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전자파 차폐필터용 메시형 금속박막을 형성하기 위한 포토마스크의 설계방법

  • 기술번호 : KST2015027805
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전자파 차폐필터용 메시형 금속박막을 형성하기 위한 포토마스크의 설계방법이 개시된다. 상기 설계방법은 투명기재에 접착되어 전자파를 차폐하는 전자파 차폐필터용 금속박막의 상면에 감광막을 형성하고 포토리소그라피법 및 에칭으로 상기 금속박막을 메시형 금속박막을 형성하기 위한 패턴을 포토마스크에 설계하는 방법에 있어서, 상기 메시형 금속박막의 메시라인이 교차하는 부위의 엣지부의 곡률을 보정하기 위하여 상기 포토마스크의 패턴의 메시라인이 교차하는 부위의 엣지부에 돌기를 설계한다. 상기 전자파 차폐필터용 메시형 금속박막을 형성하기 위한 포토마스크의 설계방법은 포토마스크에 설계된 패턴의 메시라인이 교차하는 부위의 엣지부를 보정하여 메시형 금속박막의 메시라인이 교차하는 부위의 엣지부의 곡률을 0∼10㎛로 형성하므로, 메시형 금속박막의 개구율(開口率) 및 비시인성(非視認性)이 향상된다.
Int. CL H05K 9/00 (2006.01)
CPC H05K 9/0086(2013.01)
출원번호/일자 1020030030179 (2003.05.13)
출원인 엘지마이크론 주식회사
등록번호/일자 10-0490029-0000 (2005.05.09)
공개번호/일자 10-2004-0098102 (2004.11.20) 문서열기
공고번호/일자 (20050517) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.05.13)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지마이크론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배강진 대한민국 경상북도구미시도

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지마이크론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2003-0169064-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.04.21 수리 (Accepted) 9-1-2005-0023897-28
4 등록결정서
Decision to grant		 2005.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0203915-23
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2006-5004126-23
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
투명기재에 접착되어 전자파를 차폐하는 전자파 차폐필터용 금속박막의 상면에 감광막을 형성하고 포토리소그라피법 및 에칭으로 상기 금속박막을 메시형 금속박막으로 형성하기 위한 패턴을 포토마스크에 설계하는 방법에 있어서, 상기 메시형 금속박막의 메시라인이 교차하는 부위의 엣지부의 곡률을 보정하기 위하여 상기 포토마스크의 패턴의 메시라인이 교차하는 부위의 엣지부에 돌기를 설계하는 것을 특징으로 하는 포토마스크의 설계방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 돌기는 원형, 타원형, 삼각형 및 사각형 중에서 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 포토마스크의 설계방법
3 2
제 1 항에 있어서, 상기 돌기는 원형, 타원형, 삼각형 및 사각형 중에서 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 포토마스크의 설계방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.