1 |
1
투명성 절연기판상에 증착된 금속막이 패턴되고, 상기 패턴된 금속막의 중앙 부위에 소정 패턴을 갖는 게이트 라인 및 게이트 전극과;
상기 게이트 라인과 게이트 전극이 형성된 기판상에 순차적으로 형성된 게이트 절연막, 엑티브층, 오믹컨택층, 소스/드레인 전극 및 데이터 버스라인과;
상기 게이트 절연막, 상기 엑티브층, 상기 오믹컨택층, 상기 소스/드레인 전극 및 상기 데이터 버스라인 상에 소자보호를 위해 도포된 보호막과;
상기 보호막상에 형성된 ITO 화소 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치
|
2 |
2
투명성 절연기판상에 증착된 금속막이 패턴되고, 상기 패턴된 금속막의 중앙 부위에 소정 패턴을 갖는 게이트 라인 및 게이트 전극과;
상기 게이트 라인과 게이트 전극이 형성된 기판상에 순차적으로 형성된 게이트 절연막 및 금속막과;
상기 게이트 절연막상에 증착된 금속막이 패턴되고, 상기 패턴된 금속막의 중앙부위에 소정 패턴을 갖는 소스/드레인 전극 및 데이터 라인과;
상기 게이트 절연막, 상기 소스/드레인 전극 및 상기 데이터 라인 상에 소자보호를 위해 도포된 보호막과;
상기 보호막상에 형성된 ITO 화소 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치
|
3 |
3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 패턴된 금속막의 중앙 부위에 소정 패턴을 갖는 게이트 라인 및 게이트 전극으로 형성되는 금속막은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 안티몬(Sb), 탄탈(Ta)과 알루미늄 합금으로 구성된 도전성 금속그룹 중 선택된 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치
|
4 |
4
제 2항에 있어서,
상기 패턴된 금속막의 중앙부위에 소정 패턴을 갖는 소스/드레인 전극 및 데이터 라인의 금속막은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 안티몬(Sb), 탄탈(Ta)과 알루미늄 합금으로 구성된 도전성 금속그룹 중 선택된 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
삭제
|
7 |
7
투명성 절연기판상에 금속막을 도포하여 게이트 라인과 게이트 전극을 형성하면서 상기 게이트 라인과 게이트 전극의 중앙 부위에 소정의 패턴을 형성하는 단계와;
상기 게이트 라인과 게이트 전극이 형성된 기판상에 순차적으로 게이트 절연막, 엑티브층, 오믹컨택층, 소스/드레인 전극 및 데이터 라인을 형성하는 단계와;
상기 게이트 절연막, 상기 엑티브층, 상기 오믹컨택층, 상기 소스/드레인 전극 및 상기 데이터 라인 상에 소자보호를 위한 보호막을 도포하는 단계와;
상기 보호막상에 ITO 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
|
8 |
8
투명성 절연기판상에 금속막을 증착하여 게이트 라인과 게이트 전극을 형성하면서 상기 게이트 라인과 게이트 전극의 중앙 부위에 소정의 패턴을 형성하는 단계와;
상기 게이트 라인과 게이트 전극이 형성된 기판상에 순차적으로 게이트 절연막, 엑티브층, 오믹컨택층을 형성하는 단계와;
상기 게이트 절연막, 상기 엑티브층, 상기 오믹컨택층 상에 금속막을 증착하여 소스/드레인 전극 및 데이터 라인을 형성하면서 상기 소스/드레인 전극 및 데이터 라인의 중앙 부위에 소정 패턴을 형성하는 단계와;
상기 게이트 절연막, 상기 엑티브층, 상기 오믹컨택층, 상기 소스/드레인 전극 및 상기 데이터 라인 상에 소자보호를 위한 보호막을 도포하는 단계와;
상기 보호막상에 ITO 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
|
9 |
9
제 7항 또는 제 8항에 있어서,
상기 패턴된 금속막의 중앙 부위에 소정 패턴을 갖는 게이트 라인 및 게이트 전극으로 형성되는 금속막은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 안티몬(Sb), 탄탈(Ta)과 알루미늄 합금으로 구성된 도전성 금속그룹 중 선택된 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
|
10 |
10
제 8항에 있어서,
상기 패턴된 금속막의 중앙 부위에 소정 패턴을 갖는 소스/드레인 전극 및 데이터 라인으로 형성되는 금속막은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 안티몬(Sb), 탄탈(Ta)과 알루미늄 합금으로 구성된 도전성 금속그룹 중 선택된 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
|