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본체 상부 일측면에 시료를 주입하는 주입구가 형성되어 있고; 상기 주입구로 주입된 시료가 흐르도록 상기 주입구에 일측이 연결되어, 상기 본체 내부에 채널이 형성되어 있고; 상기 채널의 타측에 연결되고, 상기 본체의 상부 타측면에 시료를 배출하는 배출구가 형성되어 있고; 상기 채널의 상부가 제거되어 상기 본체 상부면에 복수개의 멤브레인(Membrane)들이 형성되어 있고; 상기 복수개의 멤브레인들 각각의 상면에 하부전극, 압전막과 상부전극이 순차적으로 적층된 압전 진동자가 형성되어 있고; 상기 복수개의 멤브레인들 각각의 하면에 바이오 물질이 고정되어 있는 바이오칩
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제 1 항에 있어서, 상기 본체는, 하부기판에 상부기판이 결합된 구조이며, 채널영역이 형성된 상부기판을 하부기판에 본딩하여 형성되어 있거나, 또는 채널영역이 형성된 하부기판에 상부기판을 본딩하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오칩
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베이스 고정부와; 상기 베이스 고정부에 본딩되고, 상면 일측부에서 타측부로 연장되는 적어도 하나 이상의 장방형 홈이 형성된 하부기판과; 상기 하부기판의 상부에 본딩되며, 상기 홈의 일측부와 타측부 각각에 대향되는 개구들이 형성되고, 상기 장방형 홈의 중간 영역에 대향되도록 바이오 물질이 고정된 TFBAR(Thin Film Bulk Acoustic Resonator) 어레이가 형성된 상부기판과; 상기 상부기판의 일측부 개구에 연결되어, 시료를 주입하는 시료 주입부와; 상기 상부기판의 타측부 개구에 연결되어, 시료를 배출하는 시료 배출부로 구성된 바이오칩
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제 3 항에 있어서, 상기 TFBAR 어레이는, 상기 장방형 홈의 중간 영역의 상부기판 하면이 제거되어 상기 상부기판 상부면에 각각 형성되며, 각각의 하면에 바이오 물질이 고정된 복수개의 멤브레인(Membrane)들과; 상기 복수개의 멤브레인들 각각의 상면에 하부전극, 압전막과 상부전극이 순차적으로 적층되어 형성된 압전 진동자들로 구성된 것을 특징으로 하는 바이오칩
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본체 상부 일측면에 시료를 주입하는 주입구가 형성되어 있고, 상기 주입구로 주입된 시료가 흐르도록 상기 주입구에 일측이 연결되어 상기 본체 내부에 채널이 형성되어 있고, 상기 채널의 타측에 연결되고 상기 본체의 상부 타측면에 시료를 배출하는 배출구가 형성되어 있고, 상기 채널의 상부가 제거되어 상기 본체 상부면에 복수개의 멤브레인(Membrane)들이 형성되어 있고, 상기 복수개의 멤브레인들 각각의 상면에 하부전극, 압전막과 상부전극이 순차적으로 적층된 압전 진동자가 형성되어 있고, 상기 복수개의 멤브레인들 각각의 하면에 바이오 물질이 고정되어 있는 바이오칩과; 상기 압전 진동자에 신호를 인가하며, 상기 바이오칩에 주입된 시료와 바이오 물질이 반응하여 발생하는 신호의 주파수 변화를 검출하는 주파수 검출기와; 상기 주파수 검출기에서 검출된 신호의 주파수의 중간주파수로 바이오 물질의 특성을 측정하는 주파수 신호 분석처리기로 구성된 바이오 칩을 이용한 바이오 물질의 특성 측정 시스템
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본체 상부 일측면에 시료를 주입하는 주입구가 형성되어 있고, 상기 주입구로 주입된 시료가 흐르도록 상기 주입구에 일측이 연결되어 상기 본체 내부에 채널이 형성되어 있고, 상기 채널의 타측에 연결되고 상기 본체의 상부 타측면에 시료를 배출하는 배출구가 형성되어 있고, 상기 채널의 상부가 제거되어 상기 본체 상부면에 복수개의 멤브레인(Membrane)들이 형성되어 있고, 상기 복수개의 멤브레인들 각각의 상면에 하부전극, 압전막과 상부전극이 순차적으로 적층된 압전 진동자가 형성되어 있고, 상기 복수개의 멤브레인들 각각의 하면에 바이오 물질이 고정되어 있는 바이오칩과; 상기 압전 진동자에 신호를 인가하며, 상기 바이오칩에 주입된 시료와 바이오 물질이 반응하여 발생하는 신호의 주파수 변화를 검출하는 주파수 검출기와; 상기 주파수 검출기에서 검출된 신호의 주파수의 중간주파수로 바이오 물질의 특성을 측정하는 주파수 신호 분석처리기로 구성된 바이오 칩을 이용한 바이오 물질의 특성 측정 시스템
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