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일면에는 요철이 형성되고, 요철이 형성된 면과 평행하게 상기 요철이 형성된 면의 후방(後方)에 플레이트 형태로서 자성(磁性)을 띄는 물체가 구성된 탄성 중합체인 미세 패턴(pattern) 형성용 소프트 몰드
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절연 기판 상에 임의의 패턴이 형성된 원판(master)을 형성하는 단계와; 상기 원판의 상부에 제 1 탄성 중합체를 부어 프리-폴리머(pre-polymer)층을 형성하는 단계와; 상기 프리-폴리머층을 제 1 경화 공정을 통해 준 경화하는 단계와; 상기 준 경화된 프리-폴리머(pre-polymer)층의 상부에 자성(磁性)을 띄는 물체를 구성하는 단계와; 상기 자성(磁性)을 띄는 물체를 포함하는 프리-폴리머층의 상부에 제 2 탄성 중합체를 붇고 제 2 경화공정으로 상기 프리-폴리머층을 완전 경화하는 단계와; 상기 자성(磁性)을 띄는 물체를 포함하여 완전 경화된 폴리머층을 원판으로부터 떼어내는 단계를 포함하는 패턴(pattern)형성용 소프트 몰드 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 탄성 중합체는 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS)과 폴리우레탄(polyurethane)과 폴리이미드(polyimides)중 선택된 하나인 미세패턴(pattern)형성용 소프트 몰드 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 제 1 경화 공정시의 경화온도는 25도이고, 경화 시간은 1~2시간인 미세패턴(pattern)형성용 소프트 몰드 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 제 2 경화 공정시의 경화 온도는 65℃~150℃이고, 경화 시간은 상기 경화온도와 반비례하는 관계로 3시간~15분으로 진행되는 미세패턴(pattern)형성용 소프트 몰드 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 제 2 탄성 중합체는 상기 제 1 탄성 중합체와 동일하거나, 이종(異種)의 물질인 미세패턴(pattern) 형성용 소프트 몰드 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 이종 물질인 하이드로 실란(hydro-silane)또는 비닐기(vinyl)의 프리-폴리머(pre-polymer)인 미세 패턴(pattern) 형성용 소프트 몰드 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 제 1 탄성중합체는 프리-폴리머와 경화제를 10:1이 비율로 혼합한 혼합액인 미세패턴(pattern) 형성용 소프트 몰드 제조방법
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절연 기판 상에 소정의 패턴이 형성된 원판(master)을 형성하는 단계와; 상기 원판의 상부에 탄성 중합체를 프리-폴리머(pre-polymer)층을 형성하는 단계와; 상기 프리-폴리머(pre-polymer)층을 경화하여 폴리머층을 형성하는 단계와; 상기 폴리머층의 상부에 자성(磁性)을 띄는 물체를 구성하는 단계 를 포함하는 미세 패턴(pattern)형성용 소프트 몰드 제조방법
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일면에는 요철이 형성되고, 요철이 형성된 면과 평행하게 자성(磁性)을 띄는 물체가 구성된 탄성 중합체인 패턴 형성용 소프트 몰드와; 상기 소프트 몰드에 구성된 자성(磁性)을 띄는 물체에 자성(磁性)의 유무를 제어하여, 상기 소프트 몰드를 탈착(脫着)하는 자력 제어장치 를 포함하는 미세패턴(pattern)형성용 소프트 몰드 시스템
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제 11 항에 있어서, 상기 자력 제어장치는 상기 소프트 몰드에 자성(磁性)을 유발하여, 상기 소프트 몰드를 부착하고, 부착된 소프트 몰드가 접촉될 피착물에 정확히 정렬하도록 하는 장치인 미세패턴(pattern)형성용 소프트 몰드 시스템
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