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얼라인마크 형성 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015029213
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요약 본 발명은 얼라인 마크 형성을 향상시킬 수 있는 얼라인마크 형성 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판과; 레이저 광선을 발생시키는 광발생부와; 상기 광발생부로부터 발생된 레이저 광선을 둘 이상의 방향으로 분리하는 빔 스플리터와; 상기 빔 스플리터로에서 분리된 각각의 레이저 광선의 경로를 변환한 후 상기 기판 상의 일 영역에 조사하여 얼라인 마크를 형성하는 적어도 하나의 스캐너를 구비하고; 상기 스캐너 각각은 상기 레이저 광선이 상기 기판 상의 원하는 위치에 조사되도록 전자기적인 힘에 의해 상기 레이저 광선의 경로를 변환시키는 다수의 유동 미러를 포함하는 얼라인마크 형성 장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 9/708(2013.01) G03F 9/708(2013.01) G03F 9/708(2013.01) G03F 9/708(2013.01) G03F 9/708(2013.01)
출원번호/일자 1020030069472 (2003.10.07)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1076422-0000 (2011.10.18)
공개번호/일자 10-2005-0034770 (2005.04.15) 문서열기
공고번호/일자 (20111025) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 금창석 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2003-0373012-92
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0657212-48
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0683046-54
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.05.19 수리 (Accepted) 9-1-2010-0030195-12
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0258371-25
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0449936-00
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.07.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0449935-54
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2010.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0535458-74
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0017176-86
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0328142-97
14 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2011.06.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2011-0023694-06
15 등록결정서
Decision to grant
2011.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0437780-29
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판과; 레이저 광선을 발생시키는 광발생부와; 상기 광발생부로부터 발생된 레이저 광선을 둘 이상의 방향으로 분리하는 빔 스플리터와; 상기 빔 스플리터로에서 분리된 각각의 레이저 광선의 경로를 변환한 후 상기 기판 상의 일 영역에 조사하여 얼라인 마크를 형성하는 적어도 하나의 스캐너를 구비하고; 상기 스캐너 각각은 상기 레이저 광선이 상기 기판 상의 원하는 위치에 조사되도록 전자기적인 힘에 의해 조절되는 다수의 유동 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인마크 형성장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 다수의 유동 미러는 상기 레이저 광선이 원하는 위치에 조사되도록 로렌츠의 힘에 의해 반사각이 조절되는 것을 특징으로 하는 얼라인마크 형성 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 빔 스플리터에서 분리된 각각의 레이저 광선을 상기 스캐너 각각으로 반사시키는 적어도 하나의 반사미러를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 얼라인마크 형성 장치
6 6
기판을 마련하는 단계와; 광발생부를 통해 레이저 광선을 발생하는 단계와; 빔 스플리터를 통해 상기 레이저 광선을 둘 이상의 방향으로 분리하는 단계와; 적어도 하나의 스캐너를 통해, 상기 둘 이상의 방향으로 분리된 각각의 레이저 광선의 경로를 변환한 후 상기 기판 상의 일 영역에 조사하여 얼라인 마크를 형성하는 단계를 포함하고; 상기 스캐너 각각은 상기 레이저 광선이 상기 기판 상의 원하는 위치에 조사되도록 전자기적인 힘에 의해 조절되는 다수의 유동 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인마크 형성방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제 6 항에 있어서, 상기 다수의 유동 미러는 상기 레이저 광선이 원하는 위치에 조사되도록 로렌츠의 힘에 의해 반사각이 조절되는 것을 특징으로 하는 얼라인마크 형성방법
10 10
제 6 항에 있어서, 상기 기판을 마련하는 단계는 상기 기판 상에 금속층과 포토레지스트를 순차적으로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인마크 형성방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 레이저 광선은 상기 포토레지스트 상에 조사되는 것을 특징으로 하는 얼라인마크 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.