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웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기

  • 기술번호 : KST2015029787
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기에 대한 것이다. 본 발명의 가스켓 세정용기는, 웨이퍼를 포장하는 웨이퍼 쉽핑박스에 쉴링을 위해 사용되는 다수개의 가스켓을 세정하는 가스켓의 세정용기로, 상기 세정장치의 프레임을 이루는 트레이와; 상기 트레이 양단에 대응되게 돌설되어 상기 각 가스켓이 걸쳐지는 다수 쌍의 고정핀과; 상기 각 고정핀에 걸쳐진 다수개의 가스켓을 상부에서 덮어 이탈을 방지하는 이탈방지 덮개를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 가스켓, 웨이퍼, 박스, 트레이, 청정도
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67386(2013.01) H01L 21/67386(2013.01) H01L 21/67386(2013.01) H01L 21/67386(2013.01) H01L 21/67386(2013.01)
출원번호/일자 1020030090837 (2003.12.12)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1000407-0000 (2010.12.06)
공개번호/일자 10-2005-0058852 (2005.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20101213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.18)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최원구 대한민국 경상북도구미시임

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2003-0476213-00
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2005-5089832-29
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0633699-07
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0657418-81
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0051591-13
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0110227-33
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.05.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0291518-12
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0291519-68
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2010.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0400889-17
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0701877-49
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.10.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0701879-30
13 등록결정서
Decision to grant
2010.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0543797-79
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 포장하는 웨이퍼 쉽핑박스에 쉴링을 위해 사용되는 다수개의 가스켓을 세정하는 가스켓의 세정용기로, 상기 세정용기의 프레임을 이루는 트레이와; 상기 트레이 양단에 대응되게 돌설되어 상기 각 가스켓이 걸쳐지는 다수 쌍의 고정핀과; 상기 각 고정핀에 걸쳐진 다수개의 가스켓을 상부에서 덮어 이탈을 방지하는 이탈방지 덮개를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 트레이 및 덮개는 망구조로 형성되어, 세정액의 원활한 흐름과 드라잉의 편의를 도모하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 트레이는 표면에 대해 전해연마를 실시한 스테인레스 스틸로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기
4 4
청구항 2에 있어서, 상기 덮개는 표면에 대해 전해 연마를 실시한 스테인레스 스틸로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기
5 5
삭제
6 6
청구항 1 내지 4 중 어느 하나의 청구항에 있어서, 상기 고정핀의 표면에는 테플론(teflon)으로 코팅처리 되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기
7 7
청구항 1 내지 4 중 어느 하나의 청구항에 있어서, 상기 각 대응하는 고정핀 사이의 거리는 각 고정핀에 걸쳐지는 가스켓의 전체 길이보다 3 내지 10% 더 긴 것을 특징으로 하는 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기
8 8
청구항 1 내지 4 중 어느 하나의 청구항에 있어서, 상기 고정핀의 상단에는 상기 가스켓의 이탈을 방지하기 위한 플랜지가 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.