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웨이퍼 세정장치

  • 기술번호 : KST2015029874
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요약 본 발명은 세정액의 흐름과 부력에 의해서 웨이퍼가 카세트에서 이탈하는 것을 방지하면서 실질적으로 웨이퍼가 세정액 내에서 회전할 수 있도록 하여 세정액과 웨이퍼 표면이 균일하게 접촉하여 웨이퍼 세정효과가 증가되고 세정이 전체적으로 균일하게 될 수 있도록 한다. 본 발명은 웨이퍼를 세정하기 위한 세정액이 담긴 세정조를 가지고 있는 웨이퍼 세정장치로서, 웨이퍼를 세정조의 세정액 내에서 지지하고, 웨이퍼를 상하좌우전후로 자유롭게 회전 또는 이동시킬 수 있는 웨이퍼 요동기구와, 상기 요동기구가 회전 또는 요동하도록 동력을 가하는 동력전달기구를 포함하여 이루어진다. 세정, 웨이퍼, 웨이퍼 배럴
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020030088149 (2003.12.05)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1043482-0000 (2011.06.15)
공개번호/일자 10-2005-0055195 (2005.06.13) 문서열기
공고번호/일자 (20110623) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.02)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이태헌 대한민국 경상북도구미시임

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2003-0466056-48
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2005-5089832-29
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0633687-59
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0831209-83
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.03.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0021161-60
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0355110-24
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.10.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0660773-04
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0660771-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
11 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0074663-26
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.05 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0246808-48
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0246807-03
14 등록결정서
Decision to grant
2011.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0290482-70
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
웨이퍼를 세정하기 위한 세정액이 담긴 세정조를 가지고 있는 웨이퍼 세정장치에 있어서, 웨이퍼를 세정조의 세정액 내에서 지지하고, 웨이퍼를 상하좌우전후로 자유롭게 회전 또는 이동시킬 수 있는 웨이퍼 요동기구와, 상기 요동기구가 회전 또는 요동하도록 동력을 가하는 동력전달기구를 구비하고, 상기 요동기구는 웨이퍼를 상하좌우전후 방향으로 지지하는 웨이퍼 지지부와, 상기 웨이퍼지지부를 회전시키는 하나의 축과, 상기 축에 결합되어 회전력을 전달하는 회전력전달부를 가지는 것이 특징인 웨이퍼 세정 장치
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 웨이퍼 지지부는 배럴형으로 된 것이고 그 속에는 웨이퍼 카세트를 안치시키도록 되어 있는 것이 특징인 웨이퍼 세정 장치
4 4
청구항 2에 있어서, 상기 요동기구는 상기 웨이퍼 지지부의 축이 회전 가능하도록 지지대에 결합되어서, 상기 웨이퍼 지지부를 세정조 내에 안치시켜서 세정되게 하고, 웨이퍼 지지부를 이동시킬 때 사용되는 작업봉을 가진 프레임을 추가로 구비하는 것이 특징인 웨이퍼 세정 장치
5 5
청구항 2에 있어서, 상기 회전력전달부는 기어인 것이 특징인 웨이퍼 세정 장치
6 6
청구항 2항 내지 5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 동력전달기구는 세정조 외부에서 발생된 회전력을 세정조 내부의 회전력전달부로 연결하도록 결합되는 것이 특징인 웨이퍼 세정 장치
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 동력전달기구는 모터와 기어로 이루어지는 것이 특징인 웨이퍼 세정 장치
8 8
웨이퍼를 세정하기 위한 세정액이 담긴 세정조를 가지고 있는 웨이퍼 세정장치에 있어서, 웨이퍼를 세정조 내에서 상하좌우전후 방향으로 지지하는 웨이퍼 지지부와, 상기 웨이퍼 지지부를 상하좌우전후로 자유롭게 요동시킬 수 있는 웨이퍼 요동기구를 구비하고, 상기 웨이퍼 지지부는 배럴형으로 된 것이고 그 속에는 웨이퍼 카세트를 안치시키도록 되어 있는 것이 특징인 웨이퍼 세정 장치
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삭제
10 10
청구항 8에 있어서, 상기 요동기구는 상기 웨이퍼 지지부를 요동시킬 때 사용되는 작업봉을 가진 프레임을 구비하는 것이 특징인 웨이퍼 세정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.