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웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정장치와 보정방법

  • 기술번호 : KST2015030081
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요약 본 발명은 웨이퍼 양면 연마기의 연마패드 보정장치와 연마패드 보정방법에 대한 것이다. 본 발명의 연마패드 보정장치는, 웨이퍼의 양면을 연마하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드를 평탄하게 고르는 연마패드보정장치로, 상기 양면연마기의 연마에 의해 연마패드에 형성된 연마궤적을 고르는 시즈닝블럭과; 상기 시즈닝블럭이 관통설치되는 블럭캐리어를 포함하여, 상기 블럭캐리어에 관통설치된 시즈닝블럭이 상기 양면연마기의 상하정반 사이에 놓여지면, 상하정반이 상기 시즈닝블럭을 가압회전시켜 연마궤적의 보정을 가능하게 하는 것을 특징으로 한다. 양면, 연마기, 웨이퍼, 연마패드, 보정
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/08(2013.01) B24B 37/08(2013.01)
출원번호/일자 1020030095593 (2003.12.23)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1043487-0000 (2011.06.15)
공개번호/일자 10-2005-0064242 (2005.06.29) 문서열기
공고번호/일자 (20110623) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.18)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문도민 대한민국 경상북도구미시임
2 김봉우 대한민국 경상북도구미시임

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2003-0492018-78
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2005-5089832-29
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0633760-95
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0657517-03
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.12.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0002819-14
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0112348-06
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.05.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0301241-51
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0301242-07
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2010.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0400890-53
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0729953-66
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0729954-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
14 등록결정서
Decision to grant
2011.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0290465-04
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼의 양면을 연마하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드를 평탄하게 고르는 연마패드보정장치로, 상기 양면연마기의 연마에 의해 연마패드에 형성된 연마궤적을 고르는 시즈닝블럭과; 상기 시즈닝블럭이 관통설치되는 블럭캐리어를 포함하여, 상기 블럭캐리어에 관통설치된 시즈닝블럭이 상기 양면연마기의 상하정반 사이에 놓여지면, 상하정반이 상기 시즈닝블럭을 가압회전시켜 연마궤적의 보정을 가능하게 하고, 상기 시즈닝블럭의 중심에는 원형 공동이 형성되어 있고, 상기 공동의 직경은 상기 웨이퍼 연마궤적의 손상영역의 폭과 동일한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 시즈닝블럭은 알루미나와 SiC 세라믹 중의 어느 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정장치
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 블럭캐리어에는 복수개의 시즈닝블럭이 관통설치되도록 복수개의 블럭홀이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정장치
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 시즈닝블럭은 상기 블럭캐리어보다 두께가 두꺼운 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면 연마기의 연마패드 보정장치
5 5
삭제
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 시즈닝블럭의 폭은 그 최소한이 30mm인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정장치
7 7
웨이퍼 양면연마기에 의한 연마공정이 종료된 후, 연마패드에 잔여물을 제거하는 연마패드 세정단계와; 상기 세정단계를 거친 연마패드에 청구항 1에 있어서의 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정장치를 상기 양면연마기의 상정반과 하정반의 사이에 위치시키는 단계와; 상기 연마패드 보정장치를 상하정반이 양측에서 가압회전시켜, 연마패드에 형성된 연마궤적의 주변을 고르게 다지는 시즈닝과정을 포함하여 구성되는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정방법
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 상하정반이 시즈닝블럭에 가하는 압력은 그 최소한이 웨이퍼 연마시의 압력과 같은 압력인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정방법
9 9
청구항 7에 있어서, 상기 시즈닝 단계에서는 초순수가 공급되어 냉각과 세정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정방법
10 10
청구항 7에 있어서, 시즈닝 단계는 3 내지 8분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면연마기의 연마패드 보정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.