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복수의 공정챔버가 인라인 형태로 배열된 스퍼터장비의 기판 이송장치에 있어서,
공정챔버의 상부면에 설치되어 각각의 공정챔버를 지나는 상부 이송경로;
상부 이송경로와 대응하는 공정챔버의 하부면에 설치된 하부 이송경로;
상기 상부 이송경로를 따라 서로 평행하게 배치되며 그 대향하는 일측면에 적어도 한쌍의 제1자석이 구비하고 그 타측면에 적어도 한쌍의 제2자석을 구비하는 캐리어 가이드;
상기 하부 이송경로를 따라 설치되며, 캐리어를 이송시키기 위한 구동력을 제공하는 하부 이송부;
기판을 탑재하는 기판 탑재부와, 상기 기판탑재부와 일체형으로 구성되고, 상기 제1자석과 제2자석 사이의 중심부에 위치하여 상기 제1자석 및 제2자석 간에 척력을 작용시키는 적어도 한쌍의 제3자석을 구비하는 상부 캐리어바와, 상기 기판탑재부와 일체형으로 구성되고 상기 하부 이송부에 접촉하여 양측면에 롤러로부터 이탈을 방지하기 위한 바가이드가 설치된 하부 캐리어바로 이루어지는 캐리어; 및,
상기 캐리어 가이드의 좌우 중심부에 장착되어 상기 캐리어가 제1자석과 제2자석 사이의 중심으로부터 이탈된 정도를 측정하고, 측정된 결과에 따라 상기 제1자석 및 제2자석의 자력을 조절하여 상기 캐리어의 흔들림을 억제하는 위치측정장치를 포함하고,
상기 바가이드는, 양쪽 끝단에 상기 하부 이송부와 인력을 작용시키는 제1 및 제2 자석이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판이송장치
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제1항에 있어서, 상기 위치측정장치는 광센서인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서, 상기 하부 이송부는 롤러방식으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제4항에 있어서, 상기 롤러에 상기 하부 캐리어바가 정합하기 위한 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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복수의 공정챔버가 인라인 형태로 배열된 스퍼터장비의 기판 이송장치에 있어서,
공정챔버의 상부면에 설치되어 각각의 공정챔버를 지나는 상부 이송경로;
상부 이송경로와 대응하는 공정챔버의 하부면에 설치된 하부 이송경로;
상기 상부 이송경로를 따라 서로 평행하게 배치되며 그 대향하는 일측면에 적어도 한쌍의 제1자석이 구비하고 그 타측면에 적어도 한쌍의 제2자석을 구비하는 캐리어 가이드;
상기 하부 이송경로를 따라 설치된 롤러; 및
공정을 진행하기 위한 기판을 탑재하는 기판탑재부와, 상기 기판탑재부와 일체형으로 구성되고 제3자석을 구비하며, 상기 제3자석이 상기 캐리어 가이드의 제1자석과 제2자석의 중심에 위치하는 상부 캐리어바와, 상기 기판탑재부와 일체형으로 구성되고, 하부 이송경로에 설치된 롤러에 정합하며, 상기 롤러로부터 이탈을 방지하기 위한 캐리어바 가이드가 그 양측에 설치된 하부 캐리어바로 이루어진 캐리어를 포함하고,
상기 캐리어바 가이드는, 양 끝단에 상기 롤러와 인력을 작용시키는 제1자석 및 제2 자석이 구성된 기판 이송장치
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제8항에 있어서, 상기 롤러의 구동에 의해 캐리어가 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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