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진공챔버;
상기 진공챔버 측면에 일렬로 배열되며, 원통형상을 갖는 복수의 타겟(target);
상기 원통형 타겟의 내부에 설치된 마그넷(magnet);
상기 타겟과 대향하며, 타겟으로부터 이탈된 원자들이 증착되어 박막을 형성하게 되는 기판;
상기 기판을 고정시키는 양극판; 및
상기 타겟의 전면에 설치되어 상기 타겟의 두께를 측정하는 두께 측정부; 및,
상기 두께 측정부가 측정한 타겟의 축 방향에 대한 상하위치별 두께 비교를 통해 상기 마그넷을 축방향으로 구동시키는 상하구동부를 포함하고,
상기 상하구동부는 기압실린더 방식에 의해 이루어지는 것
을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 타겟은 회전하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 마그넷은 원통형 타겟 내부에서 상하 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 마그넷은 N극과 S극이 좌우방향으로 번갈아 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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진공챔버;
상기 진공챔버 측면에 일렬로 배열되며, 회전하는 복수개의 원통형의 타겟;
상기 원통형 타겟의 내부에 N극과 S극이 좌우방향으로 번갈아 배치되고, 원통형 타겟 내부에서 축방향으로의 이동이 가능하도록 설치된 마그넷(magnet);
상기 타겟과 대향하며, 타겟으로부터 이탈된 원자들이 증착되어 박막을 형성하게 되는 기판;
상기 타겟과 기판 사이에 형성된 플라즈마 형성공간;
상기 기판을 고정시키는 양극판;
상기 타겟의 전면에 설치되어 상기 타겟의 축방향에 따른 타겟의 두께를 측정하는 두께 측정부;
상기 진공챔버 내부의 진공도를 유지시켜 주는 진공펌프; 및,
상기 두께 측정부가 측정한 타겟의 축 방향에 대한 상하위치별 두께 비교를 통해 상기 마그넷을 축방향으로 구동시키기 위한 상하구동부를 포함하고,
상기 상하구동부는 기압실린더 방식에 의해서 이루어지는 것
을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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7
제6항에 있어서, 상기 원통형 타겟 내부에 마그넷의 온도가 올라가는 것을 방지하는 냉각라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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8
제6항에 있어서, 상기 타겟을 회전시키기 위한 회전구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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10
삭제
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11
제6항에 있어서, 상기 타겟과 타겟 내부에 설치된 마그넷의 회전이 독립적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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