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샤워헤드를 포함하는 화학기상 증착장치

  • 기술번호 : KST2015031705
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요약 본 발명은 반도체 소자나 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD)용 제조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 샤워헤드를 포함하는 화학기상 박막증착 장비에 관한 것이다. 본 발명의 목적은, 샤워 헤드가 대형화됨에 따라 제작 비용이 상승하고, 샤워 헤드의 일부에 결함이 발생하는 경우에도 폐기해야 되는 문제를 개선할 수 있는 샤워 헤드 및 샤워 헤드를 포함하는 화학기상 증착장비를 제공함에 있다. 본 발명은, 반응 가스를 기판 상에 균일하게 분사하는 다수의 분사홀을 갖는 인젝터와, 상기 인젝터를 덮는 디퓨저 커버를 포함하고, 평면적으로 n(n≥2) 개의 분할부로 분할되는 화학기상 증착장비용 샤워 헤드를 제공한다. 본 발명은 화학기상 증착장비에 장착되는 샤워 헤드를 다수의 분할부로 분할하여 구성하게 된다. 따라서, 샤워 헤드를 제작함에 있어 분할부 각각을 개별적으로 제작하게 됨으로써 원재료 수급이 용이하고, 기판 크기의 변경에 대해 샤워 헤드 크기 변경의 유연성을 확보할 수 있게 된다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C23C 16/45565(2013.01) C23C 16/45565(2013.01) C23C 16/45565(2013.01)
출원번호/일자 1020040037719 (2004.05.27)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1162510-0000 (2012.06.28)
공개번호/일자 10-2005-0112606 (2005.12.01) 문서열기
공고번호/일자 (20120709) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.14)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이천수 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2004-0224145-39
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2009.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0288540-22
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.12.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0004795-87
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0053421-58
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0208785-06
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0208786-41
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0423620-61
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0752733-03
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0752735-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0693561-75
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0055141-14
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0055142-59
18 등록결정서
Decision to grant
2012.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0371944-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반응 가스를 기판 상에 균일하게 분사하는 다수의 분사홀을 갖는 인젝터와, 상기 인젝터를 덮는 디퓨저 커버를 포함하고, 평면적으로 분할된 n(n≥2) 개의 분할부를 결합하여 형성하며,상기 n 개의 분할부 중 서로 결합되는 제 i, j 분할부는 각각 제 i 인젝터 및 디퓨저 커버와, 제 j 인젝터 및 디퓨저 커버를 갖고, 상기 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차를 갖는 화학기상 증착장비용 샤워 헤드
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제 j 인젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고, 상기 요입홈에 삽입되는 밀폐수단을 더욱 포함하는 화학기상 증착장비용 샤워 헤드
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링 물질로 이루어지는 화학기상 증착장비용 샤워 헤드
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 i디퓨저 커버와 상기 제 j 디퓨저 커버의 접촉면은 각각 평면인 화학기상 증착장비용 샤워 헤드
6 6
밀폐된 반응 영역을 정의하는 챔버바디 및 챔버리드와;기판이 놓여지는 스테이지와 상기 스테이지를 상하로 이동시키는 지지대를 갖는 서셉터와;반응 가스를 상기 기판 상에 균일하게 분사하는 다수의 분사홀을 갖는 인젝터와, 상기 인젝터를 덮는 디퓨저 커버를 포함하고, 평면적으로 분할된 n(n≥2) 개의 분할부를 결합한 샤워 헤드를 포함하며,상기 샤워 헤드의 n 개의 분할부 중 서로 결합되는 제 i, j 분할부는 각각 제 i 인젝터 및 디퓨저 커버와, 제 j 인젝터 및 디퓨저 커버를 갖고, 상기 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차를 갖는 화학기상 증착장비
7 7
삭제
8 8
제 6 항에 있어서,상기 제 j 인젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고, 상기 요입홈에 삽입되는 밀폐수단을 더욱 포함하는 화학기상 증착장비
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링 물질로 이루어지는 화학기상 증착장비
10 10
제 6 항에 있어서,상기 제 i 디퓨저 커버와 상기 제 j 디퓨저 커버의 접촉면은 각각 평면인 화학기상 증착장비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.