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플라즈마 화학기상 증착장비

  • 기술번호 : KST2015032458
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 화학기상 증착장비에 관한 것으로, 본 발명은 센터 수직바를 리드 커버의 높이보다 낮게 설치하고, 상기 리드 커버의 중앙부에 연결 고리용 홀을 천공하여 이 연결 고리용 홀을 통해 크레인의 연결 고리부와 센터 수직바의 연결 고리부를 연결시켜 챔버를 이동시킨다. 따라서, 본 발명에서는 주변 장비 간의 간섭없이 챔버의 운반 및 작업 능률을 향상시킬 수 있다. 플라즈마 화학기상 증착장비, 리드 커버, 센터 수직바, 사이드 수직바, 연결 고리부, 연결 고리용 홀
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01)
출원번호/일자 1020040050215 (2004.06.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1116818-0000 (2012.02.08)
공개번호/일자 10-2006-0001166 (2006.01.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120228) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.24)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동호 대한민국 대구 달서구
2 김용석 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0288080-48
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0657249-26
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0384286-59
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0134451-40
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0340302-31
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0340305-78
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0664664-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하단부가 챔버에 수직으로 체결된 센터 수직바 및 다수의 사이드 수직바와; 상기 센터 수직바에 고정되는 크레인 연결고리와; 상기 다수의 수직바들의 상단에 수평으로 체결되며 상기 크레인 연결고리가 돌출 가능하도록 천공된 홀을 포함하는 리드 커버를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 센터 수직바와 상기 사이드 수직바들에 의해 마련된 공간에는 상기 챔버에 가스를 주입하기 위한 가스 발생장치와 상기 챔버에 고주파신호를 공급하기 위한 고주파 발생장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 크레인 연결고리 주변에 형성된 수평의 철망을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 다수의 사이드 수직바의 높이는 상기 센터 수직바보다 높은 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
5 5
상하부로 분리 가능한 챔버와; 하단부가 챔버에 수직으로 체결된 센터 수직바 및 다수의 사이드 수직바와; 상기 센터 수직바에 고정되는 크레인 연결고리와; 상기 다수의 수직바들의 상단에 수평으로 체결되며 상기 크레인 연결고리가 돌출 가능하도록 천공된 홀을 가지는 리드 커버를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 리드 커버는 상기 사이드 수직바들 사이에서 일체형으로 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
7 7
제 5 항에 있어서, 상기 리드 커버는 상기 센터 수직바의 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
8 8
제 5 항에 있어서, 상기 리드 커버는, 상기 홀 주변에 수평으로 형성된 철망을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
9 9
제 5 항에 있어서, 상기 다수의 사이드 수직바의 높이는 상기 센터 수직바보다 높은 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상 증착장비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.