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스캐닝 마이크로미러

  • 기술번호 : KST2015032872
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요약 본 발명은 입력광을 소정의 방향으로 반사시키는 마이크로미러를 가동시킴으로써, 반사광의 방향을 변조하는 광 스캐닝 소자에 관한 것이다. 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 마이크로미러는 입력광을 반사시키는 반사면이 형성된 미러판 박막과 상기 미러판 박막을 지지하는 프레임 구조물 및 이들을 기판과 연결하는 탄성 굴신 구조물을 포함한다. 이러한 스캐닝 마이크로미러를 마이크로머시닝 기술 및 반도체 일관 공정 등을 사용하여 제작함으로써 광학적, 기계적 성능이 현저히 향상된 소형의 경량화 된 형태로 구현할 수 있고, 부품 단가를 절감할 수 있으며, 동작 중 구동 전력을 현저히 낮출 수 있다. 마이크로미러, 탄성, 프레임, 광변환
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01)
출원번호/일자 1020040065152 (2004.08.18)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0636348-0000 (2006.10.12)
공개번호/일자 10-2006-0016638 (2006.02.22) 문서열기
공고번호/일자 (20061019) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.08.18)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 지창현 대한민국 서울특별시 서초구
2 김성혁 대한민국 서울특별시 은평구
3 이영주 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2004-0369524-41
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.12.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.01.13 수리 (Accepted) 9-1-2006-0001089-84
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0141208-64
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.05.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0311525-74
6 의견서
Written Opinion
2006.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2006-0311529-56
7 등록결정서
Decision to grant
2006.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0447337-33
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
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번호 청구항
1 1
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2 2
입력광을 반사시키는 반사면이 형성된 미러판 박막과 상기 미러판 박막을 지지하는 프레임 구조물 및 이들을 기판과 연결하는 탄성 굴신 구조물을 포함하고,상기 탄성 굴신 구조물은 외팔보 또는 비틀림 보에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
3 3
제 2항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 적어도 하나 이상이 구비되는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
4 4
제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 다이아몬드형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
5 5
제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
6 6
제 5항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 속이 빈 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
7 7
제 6항에 있어서, 상기 공간은 벌집형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
8 8
제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
9 8
제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP01640781 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP01640781 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP04771059 JP 일본 FAMILY
4 JP18079078 JP 일본 FAMILY
5 KR100619696 KR 대한민국 FAMILY
6 TW287393 TW 대만 FAMILY
7 US07453617 US 미국 FAMILY
8 US20060039060 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN100414954 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN1738349 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2006079078 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP4771059 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 TW200608768 TW 대만 DOCDBFAMILY
6 TW287393 TW 대만 DOCDBFAMILY
7 TWI287393 TW 대만 DOCDBFAMILY
8 US2006039060 US 미국 DOCDBFAMILY
9 US7453617 US 미국 DOCDBFAMILY
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