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자기장결정화방법에 의해 결정화된 폴리실리콘을 사용하는액정표시소자 제조방법

기술번호 : KST2015033945
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 폴리실리콘 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로, 특히 AMFC에 의해 결정화된 폴리실리콘을 사용하는 액정표시소자의 제조방법에 관한 것이다. AMFC에 의해 결정화된 폴리실리콘은 큰 음의 문턱전압을 가지며, 높은 포화전류전압을 가지기 때문에 소자에 적용하기 어려우므로 본 발명은 게이트절연막의 두께를 최적화하여 포화전류전압을 낮추고, 결정화된 폴리실리콘층을 수소화 처리하여 문턱전압값을 보상함으로써 안정된 폴리실리콘 액정표시소자를 제조할 수 있다. 문턱전압, AMFC, 수소화처리
Int. CL	G02F 1/1368 (2006.01)
CPC	H01L 29/66757(2013.01) H01L 29/66757(2013.01) H01L 29/66757(2013.01) H01L 29/66757(2013.01) H01L 29/66757(2013.01) H01L 29/66757(2013.01) H01L 29/66757(2013.01) H01L 29/66757(2013.01)
출원번호/일자	1020040089409 (2004.11.04)
출원인	엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자	10-1083206-0000 (2011.11.07)
공개번호/일자	10-2006-0040175 (2006.05.10) 문서열기
공고번호/일자	(20111111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2009.10.26)
심사청구항수	8

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	김창동	대한민국	서울 송파구
2	백승한	대한민국	인천 계양구
3	최낙봉	대한민국	경기 수원시 장안구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	박장원	대한민국	서울특별시 강남구 강남대로 **, 층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2004.11.04	수리 (Accepted)	1-1-2004-0511250-80
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2009.10.26	수리 (Accepted)	1-1-2009-0655628-50
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2011.02.16	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0088348-21
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2011.04.14	수리 (Accepted)	1-1-2011-0276406-45
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2011.04.14	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2011-0276411-74
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
9	등록결정서 Decision to grant	2011.10.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0615037-55
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판상에 비정질실리콘층을 형성하는 단계; 상기 비정질실리콘층을 가열한 상태에서 상기 비정질실리콘층에 자기장을 인가하여 결정화하는 단계; 상기 결정화된 실리콘층을 패터닝하여 액티브층을 형성하는 단계; 상기 액티브층상에 게이트절연층을 형성하는 단계; 상기 액티브층에 수소이온을 결합시키는 수소화처리를 진행하는 단계; 상기 게이트절연층상에 게이트전극을 형성하는 단계; 상기 게이트전극을 마스크로 적용하고 상기 액티브층에 불순물을 주입함으로써 소스 및 드레인 영역을 형성하는 단계; 상기 소스 및 드레인 영역과 연결되는 소스 및 드레인전극을 형성하는 단계; 및 상기 드레인전극과 연결되는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 게이트절연층은 포화전류전압을 낮추기 위해 900Å이하 두께의 실리콘질화막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 액정표시소자 제조방법
2	2 삭제
3	3 삭제
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 수소화처리는 상기 액티브층을 수소분위기에서 400℃로 가열함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 액정표시소자 제조방법
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 수소화처리에 의해 상기 폴리실리콘 액정표시소자의 문턱전압이 낮아지는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 액정표시소자 제조방법
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 비정질실리콘을 결정화하는 단계는 비정질실리콘을 자기장발생장치에 통과시키면서 스캔 방식으로 결정화하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 액정표시소자 제조방법
7	7 제 1 항에 있어서, 상기 액티브층 및 상기 실리콘질화막을 가열함으로써 상기 액티브층이 수소화처리되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 액정표시소자 제조방법
8	8 제 1 항에 있어서, 상기 게이트절연층을 사용하는 폴리실리콘 액정표시소자의 포화전류전압이 22볼트 이하인 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 액정표시소자 제조방법
9	9 기판상에 비정질실리콘층을 형성하는 단계; 상기 비정질실리콘층을 가열한 상태에서 상기 비정질실리콘층에 자기장을 인가하여 결정화하는 단계; 상기 결정화된 실리콘층을 패터닝하여 액티브층을 형성하는 단계; 상기 액티브층상에 게이트절연층을 형성하는 단계; 상기 게이트절연층상에 게이트전극을 형성하는 단계; 상기 게이트전극을 마스크로 적용하고 상기 액티브층에 불순물을 주입함으로써 소스 및 드레인 영역을 형성하는 단계; 상기 소스 및 드레인 영역과 연결되는 소스 및 드레인전극을 형성하는 단계; 및 상기 드레인전극과 연결되는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 게이트절연층은 포화전류전압을 낮추기 위해 500Å~800Å 두께의 실리콘질화막과 100Å~400Å 두께의 실리콘산화막의 2중층으로 이루어지며, 총 두께가 1000Å을 넘지 않는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 액정표시소자 제조방법
10	10 제 9 항에 있어서, 상기 비정질실리콘을 결정화하는 단계는 비정질실리콘을 자기장발생장치에 통과시키면서 스캔 방식으로 결정화하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 액정표시소자 제조방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1083206-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20041104 출원 번호 : 1020040089409 공고 연월일 : 20111111 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20111024 청구범위의 항수 : 8 유별 : G02F 1/1368 발명의 명칭 : 자기장결정화방법에 의해 결정화된 폴리실리콘을 사용하는액정표시소자 제조방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	357,000 원	2011년 11월 07일	납입
제 4 년분	금 액	216,000 원	2014년 10월 21일	납입
제 5 년분	금 액	216,000 원	2015년 10월 28일	납입
제 6 년분	금 액	216,000 원	2016년 10월 12일	납입
제 7 년분	금 액	404,000 원	2017년 10월 16일	납입
제 8 년분	금 액	404,000 원	2018년 10월 15일	납입
제 9 년분	금 액	404,000 원	2019년 10월 15일	납입
제 10 년분	금 액	680,000 원	2020년 10월 19일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2004.11.04	수리 (Accepted)	1-1-2004-0511250-80
2	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2009.10.26	수리 (Accepted)	1-1-2009-0655628-50
4	출원인정보변경(경정)신고서	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
5	의견제출통지서	2011.02.16	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0088348-21
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2011.04.14	수리 (Accepted)	1-1-2011-0276406-45
7	[명세서등 보정]보정서	2011.04.14	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2011-0276411-74
8	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
9	등록결정서	2011.10.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0615037-55
10	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95


기술번호	KST2015033945
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	자기장결정화방법에 의해 결정화된 폴리실리콘을 사용하는액정표시소자 제조방법
기술개요	본 발명은 폴리실리콘 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로, 특히 AMFC에 의해 결정화된 폴리실리콘을 사용하는 액정표시소자의 제조방법에 관한 것이다. AMFC에 의해 결정화된 폴리실리콘은 큰 음의 문턱전압을 가지며, 높은 포화전류전압을 가지기 때문에 소자에 적용하기 어려우므로 본 발명은 게이트절연막의 두께를 최적화하여 포화전류전압을 낮추고, 결정화된 폴리실리콘층을 수소화 처리하여 문턱전압값을 보상함으로써 안정된 폴리실리콘 액정표시소자를 제조할 수 있다. 문턱전압, AMFC, 수소화처리
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

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