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유기실록산 중합체의 제조방법, 및 이를 이용한 절연막의제조방법

  • 기술번호 : KST2015034052
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기실록산 중합체의 제조방법, 및 이를 이용한 반도체용 절연막의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 a) i) 실란화합물, ii) 물, 또는 물과 유기용매의 혼합용매, 및 iii) 산촉매를 혼합하여 pH 0.5 내지 4의 조건에서 1차 반응시키는 단계; b) 상기 제1차 반응 후에 i) 물, 또는 물과 유기용매의 혼합용매, 및 ii) 염기촉매를 추가로 혼합하여 pH 9 내지 13의 조건에서 2차 반응시키는 단계, 및 c) 염기 촉매를 제거하거나 산성 촉매를 혼합하여 반응액을 pH 2 내지 5로 안정화시키는 단계를 포함하는 유기실록산 중합체의 제조방법 및 이를 이용한 절연막 형성방법에 관한 것이다. 실란화합물, 산촉매, 염기촉매, 유기실록산, 절연막, 반도체
Int. CL C08G 77/06 (2006.01.01) C08G 77/08 (2006.01.01) C08G 77/14 (2006.01.01)
CPC C08G 77/06(2013.01) C08G 77/06(2013.01) C08G 77/06(2013.01)
출원번호/일자 1020040087130 (2004.10.29)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-0826208-0000 (2008.04.23)
공개번호/일자 10-2006-0038009 (2006.05.03) 문서열기
공고번호/일자 (20080430) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.02)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문명선 대한민국 대전광역시 서구
2 고민진 대한민국 대전 유성구
3 최범규 대한민국 대전 유성구
4 강정원 대한민국 서울특별시 노원구
5 정재호 대한민국 대전 서구
6 강귀권 대한민국 서울특별시 강서구
7 김병로 대한민국 대전 유성구
8 손정만 대한민국 경북 경주시
9 강대호 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2004-0499356-37
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2006.08.25 수리 (Accepted) 4-1-2006-0019818-11
3 출원심사청구서
Request for Examination
2007.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0001958-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0586770-06
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2007-0950208-16
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.12.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0950210-08
7 등록결정서
Decision to grant
2008.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0215755-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) i) 실란화합물, ii) 물, 또는 물과 유기용매의 혼합용매, 및 iii) 산촉매 를 혼합하여 pH 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 실란화합물은 하기 화학식 1, 화학식 2, 및 화학식 3으로 표시되는 실란화합물, 이들로부터 제조되는 다이머, 이들로부터 제조되는 올리고머, 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 실란화합물인 유기실록산 중합체의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 산촉매는 염산, 질산, 황산, 인산, 불산, 포름산, 아세트산, 프로피온산, 부탄산, 펜탄산, 헥산산, 모노클로로아세트산, 디클로로아세트산, 트리클로로아세트산, 트리플로로아세트산, 옥살산, 말론산, 술폰산, 프탈산, 푸마르산, 구연산, 말레산, 올레산, 메틸말론산, 아디프산, p-아미노벤조산, 및 p-톨루엔술폰산으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 산촉매인 유기실록산 중합체의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 염기촉매는 암모니아, 유기아민 및 알킬암모늄 하이드로옥사이드염으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 염기촉매인 유기실록산 중합체의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 염기촉매는 메틸아민, 에틸아민, 프로필아민, N,N-디메틸아민, 트리메틸아민, N,N-디에틸아민, N,N-디프로필아민, 트리프로필아민, 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드, 테트라에틸암모늄하이드로옥사이드, 메틸아미노메틸아민, 메틸아미노에틸아민, 에틸아미노메틸아민, 에틸아미노에틸, 메틸알콜아민, 에틸알콜아민, 프로판올아민, N-메틸메틸알콜아민, N-에틸메틸알콜아민, N-메틸에틸알콜아민, N-에틸에틸알콜아민, N,N-디메틸메틸알콜아민, N,N-디에틸메틸알콜아민, N-메틸디메탄올아민, N-에틸디메탄올아민, N-메틸디에탄올아민, N-에틸디에탄올아민, 메톡시메틸아민, 에톡시메틸아민, 메톡시에틸아민, 에톡시에틸아민, 아닐린, 디아자비시클로운데센, 피리딘, 피롤, 피페리딘, 콜린, 피롤리딘, 및 피페라진으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 염기촉매인 유기실록산 중합체의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 1차 반응 단계에서 실란화합물의 반응기인 알콕시기 1몰에 대한 물의 몰비가 0
7 7
제1항에 있어서, 상기 2차 반응 단계에서 실란화합물의 반응기인 알콕시기 1몰에 대한 물의 몰비가 2 내지 30인 유기실록산 중합체의 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 1차 반응 단계 및 2차 반응 단계는 0 내지 120 ℃의 온도에서 진행되는 것인 유기실록산 중합체의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 유기용매는 메틸알콜, 에틸알콜, n-프로판올, i-프로판올, n-부탄올, i-부탄올, sec-부탄올, t-부탄올, 4-메틸 2-펜탄올, 시클로 헥사놀, 메틸사이클로 헥사놀, 글리세롤, n-펜탄, i-펜탄, n-헥산, i-헥산, 2,2,4-트리메틸펜탄, 시클로 헥산, 메틸시클로 헥산, 벤젠, 톨루엔, 자일렌, 크실렌, 트리메틸 벤젠, 에틸 벤젠, 메틸 에틸 벤젠, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸-n-프로필케톤, 메틸-n-부틸케톤, 메틸-i-부틸케톤, 디에틸케톤, 시클로헥사논, 메틸시클로헥사논, 아세틸아세톤, 테트라하이드로퓨란, 2-메틸 테트라하이드로 퓨란, 에틸에테르, n-프로필에테르, i-프로필에테르, n-부틸에테르, 디글라임(diglyme), 디옥신, 디메틸디옥신, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 에틸렌글리콜-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜 디메틸에테르, 에틸렌글리콜 디에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노프로필에테르, 프로필렌글리콜 디메틸에테르, 프로필렌글리콜 디에틸에테르, 프로필렌글리콜 디프로필에테르, 디에틸카보네이트, 메틸아세테이트, 에틸아세테이트, n-프로필아세테이트, i-프로필아세테이트, n-부틸아세테이트, 에틸락테이트, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜 모노에틸아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜 디아세테이트, 프로필렌글리콜 디아세테이트, N-메틸피롤리돈, 포름아마이드, N-메틸포름아마이드, N-에틸포름아마이드, N,N-디메틸포름아마이드, N,N-디에틸포름아마이드, N-메틸아세트아마이드, N-에틸아세트아마이드, N,N-디메틸아세트아마이드, 및 N,N-디에틸아세트아마이드로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상인 유기실록산 중합체의 제조 방법
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