| 1 |
1
나노 박막의 패턴에 따라 볼록부와 오목부의 요철을 구비하여 형성된 PDMS(polydimethylsiloxane)몰드를 이용하여 박막이 형성되는 제 1 영역과 박막이 형성되지 않는 제 2 영역을 갖도록 기판의 표면을 처리하는 단계;
상기 기판 상에 잉크젯 방식 또는 스핀 코팅 방식으로 박막형성 재료에 대하여 비친화적인 친수성 용매를 분사하여 상기 제 2 영역 상에 액상 격벽을 형성하는 단계;
상기 액상 격벽에 둘러싸인 상기 제 1 영역 상에 박막재료액을 도포하는 단계; 및
상기 박막재료액 및 상기 액상격벽이 도포된 기판을 건조하는 단계를 포함하여 구성되는 선택적 박막 형성 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 박막재료액은 나노 와이어, 나노 튜브 및 나노 파우더 중에서 선택되는 어느 하나로 이루어지는 박막 형성 재료를 용매에 균일하게 분산시킨 것임을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 용매는 상기 박막 형성 재료에 대해 친화성인 소수성 용매임을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서, 상기 용매는 디이미도에탄(diimidoethane)임을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 기판의 표면을 처리하는 단계는 상기 PDMS(polydimethylsiloxane) 몰드를 이용하여 미세 접촉 인쇄(micro-contact printing) 방식으로 실시하는 것을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제 5 항에 있어서, 상기 미세 접촉 인쇄 방식은 상기 PDMS 몰드에 상기 박막재료액에 대한 친화성 액상조성물을 도포하는 단계를 포함하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서, 상기 PDMS 몰드의 볼록부에 도포된 상기 액상조성물을 상기 기판 상의 제 1 영역에 전가하는 단계를 포함하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 9 |
9
제 8 항에 있어서, 상기 제 1 영역 상에 전가된 액상조성물의 용매를 건조시킴으로써, 상기 기판 상에 표면처리 패턴을 얻는 것을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 10 |
10
제 7 항에 있어서, 상기 액상조성물은 옥타데실트리클로로실레인(octa-decyltriclorosilne, OTS) 또는 알콕시 실레인(alkoxy silane) 화합물 또는 씨올(thiol) 화합물을 상기 박막재료액에 친화적인 소수성 헥산(hexane) 등의 유기 용매에 녹여 형성함을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 11 |
11
제 5 항에 있어서, 상기 제 2 영역에는 상기 박막재료액에 대하여 비친화성인 친수성기가 도입되는 것을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
제 1 항에 있어서, 상기 친수성 용매는 물임을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 14 |
14
제 1 항에 있어서, 상기 나노 박막재료를 도포하는 단계는 잉크젯 방식으로 이루어지는 단계임을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
| 15 |
15
제 1 항에 있어서, 상기 기판을 건조하는 단계는 상기 박막재료액을 구성하는 용매의 끓는점보다 낮은 온도에서 이루어짐을 특징으로 하는 선택적 박막 형성 방법
|
