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구리 몰리브덴 배선용 식각 용액 조성물
- 기술번호 : KST2015034724
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| 요약 | 본 발명은 차세대 반도체 소자 및 액정표시소자의 제조에 사용되는 구리 몰리브덴 배선용 식각 용액 조성물, 이를 이용하는 금속 배선의 식각 방법, 및 이 식각 방법을 사용하여 제조되는 액정표시장치 및 반도체 소자에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명의 식각 용액 조성물은 조성물 총중량에 대하여 (a)과산화수소수 5 내지 40 중량부; (b)화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표시되는 첨가제 a 0.1 내지 10 중량부; (c)화학식 4 또는 화학식 5 로 표시되는 첨가제 b 0.1 내지 10 중량부; 4)화학식 6 또는 화학식 7로 표시되는 첨가제 c 0.05 내지 5 중량부; 5)아미노산, 아미노산 복합체 또는 화학식 8로 표시되는 첨가제 d 0.1 내지 10 중량부 6)화학식 9 또는 화학식 10으로 표시되는 첨가제 e 0.01 내지 2 중량부 및 탈이온수로 이루어지는 것을 특징으로 하고, 상기 식각 용액 조성물은 구리 몰리브덴막의 동시 식각을 가능하게 하며, 특히 기존의 식각 용액 조성물에 비하여, 테이퍼 프로파일, 시디 로스, 테일 랭스, 케파시티 등의 식각 특성이 우수하다. 식각 용액, 구리, 구리 몰리브덴, 구리 합금막 |
|---|---|
| Int. CL | C09K 13/08 (2006.01.01) C23F 1/18 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01) H01L 21/311 (2006.01.01) C11D 11/00 (2006.01.01) G02F 1/136 (2006.01.01) |
| CPC | C09K 13/08(2013.01) C09K 13/08(2013.01) C09K 13/08(2013.01) C09K 13/08(2013.01) C09K 13/08(2013.01) C09K 13/08(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020040103560 (2004.12.09) |
| 출원인 | 주식회사 엘지화학 |
| 등록번호/일자 | 10-0708970-0000 (2007.04.11) |
| 공개번호/일자 | 10-2006-0064881 (2006.06.14) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20070418) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2005.11.11) |
| 심사청구항수 | 6 |