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공급포트 및 배기포트가 구비되며 내부로 반응영역이 정의된 챔버와;
상기 챔버의 내부 상단에 마련되어 RF 전압이 인가되는 전극부와;
상기 챔버의 내부 하단에 접지된 상태로 승강 가능하게 마련되어 기판이 안착되며 상기 기판 외측의 가장자리를 따라 복수개의 얼라인핀이 상향 돌출된 서셉터와;
상기 서셉터의 상승 시 상기 기판 및 서셉터 가장자리를 덮어 가리도록 상기 챔버의 내부에 고정 설치된 사각테 형상을 가지며 상기 서셉터와 밀착되는 배면으로 복수개의 체결홈이 구비된 쉐도우프레임과;
상기 복수개의 체결홈에 각각 착탈 가능하게 조립되어지며, 상기 각각의 얼라인핀이 삽입될 수 있는 얼라인홈이 구비된 복수개의 볼트부재
를 포함하는 평판표시장치의 제조를 위한 플라즈마 화학기상증착장치
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제 1항에 있어서,
상기 얼라인핀은 세라믹 재질인 평판표시장치의 제조를 위한 플라즈마 화학기상증착장치
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3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 체결홈의 내면에는 나사홈이 형성되고,
상기 볼트부재는 각각, 상기 나사홈과 대응되는 나사산이 외면에 형성되어 상기 체결홈에 스크류 삽입되는 샤프트와;
상기 샤프트 끝단에 구비되며 상기 서셉터를 향하는 외면에 상기 얼라인홈이 형성된 헤드를 포함하는 평판표시장치의 제조를 위한 플라즈마 화학기상증착장치
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제 3항에 있어서,
상기 볼트부재는 적어도 상기 헤드가 세라믹 재질인 평판표시장치의 제조를 위한 플라즈마 화학기상증착장치
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제 4항에 있어서,
상기 헤드는 상기 체결홈으로 삽입되는 평판표시장치의 제조를 위한 플라즈마 화학기상증착장치
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제 4항에 있어서,
상기 헤드의 끝단을 두르도록 확장 돌출되어 상기 쉐도우프레임과 상기 서셉터에 각각 밀착되는 동일재질의 환형 가이드편을 더욱 포함하는 평판표시장치의 제조를 위한 플라즈마 화학기상증착장치
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제 1항에 있어서,
상기 전극부는 상기 RF 전압이 인가되는 백킹플레이트와;
상기 백킹플레이트 하단으로 구비되며 상기 공급포트로 공급되는 외부의 반응가스를 상기 반응영역에 균일하게 분사하는 다수의 분사홀이 투공된 샤워헤드플레이트를 포함하는 평판표시장치의 제조를 위한 플라즈마 화학기상증착장치
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