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액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법

  • 기술번호 : KST2015035141
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법이 제공된다. 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법은 액정 표시 장치용 기판을 공정 챔버 내부로 로딩하는 제 1 단계, 공정 챔버 내부에 수소 또는 질소 플라즈마를 공급하는 제 2 단계, 액정 표시 장치용 기판을 소정의 온도로 유지되는 기판 지지부에 장착시키는 제 3 단계 및 공정 챔버 내부에 수소 또는 질소 플라즈마를 공급하는 제 4 단계를 포함한다. 액정 표시 장치, 화학 기상 증착, 기판 변형
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G02F 1/1333 (2006.01)
CPC G02F 1/1313(2013.01) G02F 1/1313(2013.01)
출원번호/일자 1020040115979 (2004.12.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1087243-0000 (2011.11.21)
공개번호/일자 10-2006-0077180 (2006.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20111129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.11)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동진 대한민국 대전광역시 유성구
2 박관우 대한민국 경상북도 구미시
3 서풍부 대한민국 경상북도 칠곡군
4 황하용 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0626029-69
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0709514-85
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0691863-17
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0244229-12
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0500760-37
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0500754-63
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0539736-90
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
액정 표시 장치용 기판을 공정 챔버 내부로 로딩하는 제 1 단계; 상기 공정 챔버 내부에 수소 또는 질소 플라즈마를 공급하는 제 2 단계; 및 상기 액정 표시 장치용 기판을 소정의 온도로 유지되는 기판 지지부에 장착시키는 제 3 단계를 포함하며, 상기 제 2 단계는 상기 챔버 내부에 잔류하는 정전기를 제거하기 위한 공정으로써, 상기 수소 또는 질소 플라즈마를 10 sec ∼ 60 sec 동안 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법
2 2
삭제
3 3
액정 표시 장치용 기판을 공정 챔버 내부로 로딩하는 제 1 단계; 상기 액정 표시 장치용 기판을 소정의 온도로 유지되는 기판 지지부에 장착시키는 제 2 단계; 및 상기 공정 챔버 내부에 수소 또는 질소 플라즈마를 공급하는 제 3 단계를 포함하며, 상기 제 3 단계는 상기 챔버 내부에 잔류하는 정전기를 제거하기 위한 공정으로써, 상기 수소 또는 질소 플라즈마를 10 sec ∼ 60 sec 동안 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법
4 4
삭제
5 5
액정 표시 장치용 기판을 공정 챔버 내부로 로딩하는 제 1 단계; 상기 공정 챔버 내부에 수소 또는 질소 플라즈마를 공급하는 제 2 단계; 상기 액정 표시 장치용 기판을 소정의 온도로 유지되는 기판 지지부에 장착시키는 제 3 단계; 및 상기 공정 챔버 내부에 수소 또는 질소 플라즈마를 공급하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 제 2 단계에서, 상기 수소 또는 질소 플라즈마는 10 sec ∼ 60 sec 동안 공급되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 제 4 단계에서, 상기 수소 또는 질소 플라즈마는 10 sec ∼ 60 sec 동안 공급되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법
8 8
제1항, 제3항 및 제5항에 있어서, 상기 수소 또는 질소 플라즈마는 상기 챔버 내에 구성된 상부 전극과 기판 지지부 사이에서 공급되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법
9 9
제5항에 있어서, 상기 제 2 단계 및 상기 제 4 단계는 상기 챔버 내부에 잔류하는 정전기를 제거하기 위한 공정인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 기판의 변형 억제 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.