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진공챔버 내에서, 연속적으로 공급되는 쉬트 형상의 금속 모재 양면 위에 플라즈마를 이용하여, 원자%로, 15 ~ 22%의 Ti와, 45 ~ 65%의 O와, C 및 H 중 하나 이상과 피할 수 없는 불순물로 구성되는 나머지를 함유하는 Ti-O-(C)-(H)계 초친수성 티타늄 화합물 박막을 코팅하고, 상기 박막이 코팅된 쉬트를 원하는 형상으로 기계가공하는 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 박막은, 20 ∼ 25%의 C 및 20 ∼ 25%의 H 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 박막의 두께는 1 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 금속 모재는 알루미늄 모재인 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 금속제품은 열교환기용 핀인 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 코팅은, 상기 진공챔버 내로 반응성 가스, 기상 티타늄 전구체 및 캐리어 가스를 도입함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 가스들의 도입 비율은 캐리어 가스 : 반응성 가스 = 1 : 3을 만족하는 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 가스들의 도입 비율은 기상 티타늄 전구체 : 캐리어 가스 = 3 : 1 을 만족하는 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 반응성 가스는 공기 또는 O2인 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 캐리어 가스는 He, N2, Ar로 이루어지는 군으로부터 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 기상 티타늄 전구체는 액상 티타늄테트라이소프로폭사이드가 기화기를 통과하면서 얻어진 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제14항에 있어서, 상기 기상 티타늄 전구체의 챔버 내부로의 도입량은 상기 기화기로 도입되는 상기 액상 티타늄테트라이소프로폭사이드의 양을 조절함으로써 제어되는 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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제14항에 있어서,상기 캐리어 가스는 상기 액상 티나늄테트라이소프로폭사이드가 기화기로 도입되기 전에 도입되어 상기 액상 티타늄테트라이소프로폭사이드를 기화기로 운반하는 것을 특징으로 하는 초친수성 금속제품의 제조방법
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원자%로, 15 ~ 22%의 Ti와, 45 ∼ 65%의 O와, C 및 H 중 하나 이상과 피할 수 없는 불순물로 구성되는 나머지를 함유하는, 초친수성 Ti-O-(C)-(H)계 화합물 박막이 플라즈마를 이용하여 코팅된 것을 특징으로 하는 초친수성을 갖는 금속제품
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제17항에 있어서,상기 박막은 20 ∼ 25%의 C 및 20 ~ 25%의 H 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 초친수성을 갖는 금속제품
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제17항 또는 제18항에 있어서,상기 박막은 1 내지 100nm의 두께로 코팅된 것을 특징으로 하는 초친수성을 갖는 금속제품
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제17항 또는 제18항에 있어서,상기 박막은 비정질(amorphous) 조직을 갖는 것을 특징으로 하는 초친수성을 갖는 금속제품
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제17항 또는 제18항에 있어서,상기 금속 제품은 알루미늄 쉬트이고, 상기 박막이 코팅된 알루미늄 쉬트는 열교환기용 핀으로 기계가공될 수 있는 초친수성을 갖는 금속제품
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제17항 또는 제18항에 있어서,상기 금속 제품은 알루미늄 쉬트이고, 상기 박막이 코팅된 알루미늄 쉬트는 열교환기용 핀으로 기계가공될 수 있는 초친수성을 갖는 금속제품
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