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금속에의 기능성 박막 코팅장치 및 이를 이용한 기능성박막 코팅방법

  • 기술번호 : KST2015035443
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  • 전화번호 :
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속에의 기능성 박막 코팅장치 및 이를 이용한 기능성 박막 코팅방법에 관한 것으로, 전구체용기에 수용된 액상 전구체가 전구체배관을 통해 유동되고, 이 전구체배관으로 유동되는 전구체가 유량제어장치에 의해 제어되며, 상기 유량제어장치에 의해 제어되면서 유동되는 전구체가 캐리어가스용기에 수용된 캐리어가스와 혼합되면서 캐리어가스배관을 통해 기화기로 도입되고, 상기 기화기로 도입된 액상 전구체와 캐리어가스가 기화되어 상기 기화기의 타단에 연결된 주배관으로 유동되며, 상기 기화기에서 전구체와 캐리어가스가 주배관으로 유동됨과 더불어 상기 주배관의 타단에 연결된 반응성가스용기에서 반응성가스가 도입되어 상기 주배관을 통해 전구체와 캐리어가스 및 반응성가스가 플라즈마 코팅을 이루는 챔버의 내부로 도입되어 상기 챔버의 내부로 공급되는 금속모재의 표면에 박막을 형성하도록 된 것이다.
Int. CL C23C 16/30 (2000.01)
CPC
출원번호/일자 1020047020040 (2004.12.09)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0746419-0000 (2007.07.30)
공개번호/일자 10-2006-0032565 (2006.04.17) 문서열기
공고번호/일자 (20070803) 문서열기
국제출원번호/일자 PCT/KR2004/002871 (2004.11.06)
국제공개번호/일자 WO2005009807 (2005.10.20)
우선권정보 대한민국  |   1020040023446   |   2004.04.06
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국제출원
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.09)
심사청구항수 25

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정영만 대한민국 경상남도 김해시
2 오정근 대한민국 경상남도 창원시 가
3 전현우 대한민국 경상남도 창원시 가
4 이수원 대한민국 경상남도 창원시
5 윤덕현 대한민국 경기도 안양시 만안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이광연 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 ** (역삼동) 뉴서울빌딩 ***호(리앤김국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허법 제203조의 규정에 의한 서면
Document under Article 203 of Patent Act		 2004.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2004-0580645-17
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0287350-18
3 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0514634-03
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0594411-82
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0677007-18
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0755606-65
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0849061-19
8 의견서
Written Opinion		 2006.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0849062-54
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2007.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0043257-59
10 의견서
Written Opinion		 2007.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2007-0237545-07
11 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.03.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0237544-51
12 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0297769-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공으로 유지되며 내부에 플라즈마가 형성될 수 있는 코팅 챔버와, 상기 코팅 챔버 내로 반응성가스를 도입하는 반응성가스도입수단과, 상기 코팅 챔버 내로 기상 전구체를 도입하는 전구체도입수단과, 상기 기상 전구체를 상기 코팅 챔버로 운반하는 캐리어가스를 도입하는 캐리어가스도입수단과, 상기 기상 전구체를 상기 코팅 챔버 내로 도입하기 위한 배관에 설치되는 고형화방지수단으로 이루어지는 금속에의 기능성 박막 코팅장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 반응성가스의 도입을 위한 배관과, 상기 기상 전구체 및 상기 캐리어가스의 도입을 위한 배관은 별도로 상기 코팅 챔버 내로 연결되는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 반응성가스의 도입을 위한 배관은, 상기 코팅 챔버 내부로 도입되기 전에 상기 기상 전구체 및 상기 캐리어가스의 도입을 위한 배관과 합지되는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 반응성가스도입수단, 기상 전구체도입수단 및 캐리어가스도입수단과 연결되는 주배관이 상기 코팅 챔버 내에서 코팅되는 모재가 그 사이에 위치하도록 설치되어 상기 모재 양측으로 가스가 토출되는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 모재의 양측에 설치되는 주배관은 복수개의 토출구를 갖는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅장치
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 고형화방지수단은 상기 배관 내부를 가열하는 히터수단인 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅장치
8 8
제7항에 있어서, 상기 히터수단은 상기 배관 외주에 감겨져서 설치되는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅장치
9 9
제7항에 있어서,상기 히터수단은 상기 배관 내부를 60 ~ 150℃로 가열하는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅장치
10 10
삭제
11 11
액상 전구체를 수용하는 전구체용기와, 상기 전구체용기로부터 액상 전구체를 기화시켜 진공으로 유지되며 내부에 플라즈마가 형성될 수 있는 코팅 챔버로 도입시키는 기화기로 액상 전구체를 이송시키는 배관과, 상기 전구체용기와 상기 기화기 사이의 배관에 위치하여 상기 기화기로의 액상 전구체의 이송량을 제어하는 액 유량제어수단과, 상기 기화기와 상기 유량제어수단 사이의 배관에 연결되어 액상 전구체를 기화기쪽으로 운반하는 캐리어가스를 도입하기 위한 캐리어가스도입수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체의 공급장치
12 12
액상 전구체를 수용하는 전구체용기와, 상기 전구체용기로부터 액상 전구체를 기화시켜 진공으로 유지되며 내부에 플라즈마가 형성될 수 있는 코팅 챔버로 도입시키는 기화기로 액상 전구체를 이송시키는 배관과, 상기 액상 전구체가 유동하는 배관에 설치되는 액상 전구체 고형화방지수단과, 상기 전구체용기와 상기 기화기 사이의 배관에 위치하여 상기 기화기로의 액상 전구체의 이송량을 제어하는 액 유량제어수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체의 공급장치
13 13
제12항에 있어서, 상기 액상 전구체 고형화방지수단은 상기 배관 내부를 가열하는 히터수단인 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체 공급장치
14 14
제13항에 있어서, 상기 히터수단은 상기 배관 외주에 감겨져서 설치되는 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체 공급장치
15 15
제13항에 있어서,상기 히터수단은 상기 배관 내부를 60 ~ 150℃로 가열하는 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 티타늄 전구체 공급장치
16 16
제11항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 배관에 액상 전구체가 유동하는 전구체 배관 내부만을 선택적으로 진공형성하는 진공형성수단이 추가적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체 공급장치
17 17
제16항에 있어서, 상기 진공형성수단에 진공 형성 시 상기 배관 내부로부터 유입되는 액체를 수용하도록 상기 배관과 연결되는 배출용기가 추가로 연결되는 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체 공급장치
18 18
제16항에 있어서, 상기 전구체배관에 상기 전구체배관 내부만으로 세척액을 선택적으로 공급하는 세척액공급수단이 추가적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체 공급장치
19 19
제18항에 있어서, 상기 세척액은 가압 상태로 상기 세척액 공급수단 내에 수용되어 있다가 배관 내부로 공급되는 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체 공급장치
20 20
제19항에 있어서, 상기 세척액은 무수 알콜인 것을 특징으로 하는 기화기로의 액상 전구체 공급장치
21 21
삭제
22 22
캐리어가스로 액상 전구체를 운반하여 액상 전구체를 기화기로 도입하고,기화된 기상 전구체 및 캐리어가스의 혼합가스를 반응성가스와 함께 혹은 별개로 코팅 챔버 내로 도입하되, 상기 코팅 챔버 내로 도입되는 기상 전구체의 양은 상기 기화기로 도입되는 액상 전구체의 유량을 제어함으로써 제어하고,코팅 챔버 내에서 플라즈마를 형성시켜 코팅 챔버 내에 위치하는 금속모재 표면 위에 박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅방법
23 23
캐리어가스로 액상 전구체를 운반하여 액상 전구체를 기화기로 도입하고,기화된 기상 전구체 및 캐리어가스의 혼합가스를 반응성가스와 함께 혹은 별개로 코팅 챔버 내로 도입하고,코팅 챔버 내에서 플라즈마를 형성시켜 코팅 챔버 내에 위치하는 금속모재 표면 위에 박막을 증착하되, 기화기로 향하는, 상기 액상 전구체가 유동하는 배관 내부로 상기 액상 전구체를 도입하기 전에, 상기 배관 내부만을 선택적으로 진공 형성하는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅방법
24 24
제23항에 있어서, 상기 배관 내부만을 선택적으로 진공 형성한 후에, 추가적으로 상기 배관 내부를 세척하고 상기 배관 내부만을 다시 선택적으로 진공 형성하는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅방법
25 25
제22항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액상 전구체가 유동하는 배관 내부를 가열시키면서 상기 액상 전구체를 상기 기화기로 도입하는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅방법
26 26
캐리어가스로 액상 전구체를 운반하여 액상 전구체를 기화기로 도입하고,기화된 기상 전구체 및 캐리어가스의 혼합가스를 반응성가스와 함께 혹은 별개로 코팅 챔버 내로 도입하되, 기화된 기상 전구체, 캐리어가스 및 반응성가스는 진공 챔버 내에서 코팅된 금속모재의 양측면 위로 토출시키고,코팅 챔버 내에서 플라즈마를 형성시켜 코팅 챔버 내에 위치하는 금속모재 표면 위에 박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅방법
27 27
제26항에 있어서, 상기 가스들은 복수개의 통로를 통해 상기 금속모재의 양측면 위로 토출되는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅방법
28 28
제22항, 제23항, 제26항 및 제27항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기상 전구체가 유동하는 배관 내부를 가열시키면서 상기 기상 전구체를 상기 금속모재의 양측면 위로 토출시키는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅방법
29 28
제22항, 제23항, 제26항 및 제27항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기상 전구체가 유동하는 배관 내부를 가열시키면서 상기 기상 전구체를 상기 금속모재의 양측면 위로 토출시키는 것을 특징으로 하는 금속에의 기능성 박막 코팅방법
지정국 정보가 없습니다
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패밀리 정보가 없습니다

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 AT398192 AT 오스트리아 DOCDBFAMILY
2 AT412788 AT 오스트리아 DOCDBFAMILY
3 AT450629 AT 오스트리아 DOCDBFAMILY
4 CN100537824 CN 중국 DOCDBFAMILY
5 CN100549217 CN 중국 DOCDBFAMILY
6 CN1938444 CN 중국 DOCDBFAMILY
7 CN1938444 CN 중국 DOCDBFAMILY
8 CN1938445 CN 중국 DOCDBFAMILY
9 CN1938446 CN 중국 DOCDBFAMILY
10 DE602004014421 DE 독일 DOCDBFAMILY
11 DE602004017518 DE 독일 DOCDBFAMILY
12 DE602004024454 DE 독일 DOCDBFAMILY
13 EP1759033 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
14 EP1759033 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
15 EP1759034 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
16 EP1759034 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
17 EP1761655 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
18 EP1761655 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
19 ES2308276 ES 스페인 DOCDBFAMILY
20 ES2315723 ES 스페인 DOCDBFAMILY
21 ES2336453 ES 스페인 DOCDBFAMILY
22 KR100735950 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
23 KR100783213 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
24 KR100783214 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
25 KR20060032562 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
26 KR20060032562 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
27 KR20060032563 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
28 KR20060032563 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
29 KR20060032564 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
30 KR20060032564 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
31 US2007287026 US 미국 DOCDBFAMILY
32 US2008118770 US 미국 DOCDBFAMILY
33 US2008193745 US 미국 DOCDBFAMILY
34 US2009263649 US 미국 DOCDBFAMILY
35 US2010028663 US 미국 DOCDBFAMILY
36 US7901786 US 미국 DOCDBFAMILY
37 US8043710 US 미국 DOCDBFAMILY
38 WO2005098074 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
39 WO2005098075 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
40 WO2005098076 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
41 WO2005098078 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.