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내부에 홀이 형성된 기판하부; 상기 기판하부 위에 적층된 기판상부; 상기 기판상부에 토션빔으로 회전가능하도록 연결되고, 반사면은 상기 기판하부에 형성된 홀을 향하는 미러판; 상기 미러판의 반사면의 후면에 형성되어 상기 미러판의 변형을 억제하는 강화프레임; 상기 미러판의 반사면의 후면에 형성되어 구동력을 발생시키는 자성체; 상기 미러판 반사면의 후면에 형성되어 자기장을 발생시키는 코일; 및 상기 미러판의 반사면의 후면에 형성되어 상기 구동력을 조절하는 조절전극을 포함하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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제1항에 있어서, 상기 강화 프레임 구조물은 하나 이상의 단위 프레임 구조물로 구성되어 어레이 형태로 배치된 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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제2항에 있어서, 상기의 단위 프레임 구조물은 회전축에 가까운 쪽이 회전축에서 먼 쪽보다 폭이 넓은 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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제2항에 있어서, 상기의 단위 프레임 구조물은 회전축에 가까운 쪽이 회전축에서 먼 쪽보다 두께가 두꺼운 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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5
제2항에 있어서, 상기의 단위 프레임 구조물은 소정의 부위가 비어있어 질량을 감소시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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6
제1항에 있어서, 상기의 자성체는 회전축을 중심으로 대칭 또는 비대칭으로 형성된 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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7
제1항에 있어서, 상기의 자성체는 상기 강화 프레임의 표면에 형성되거나 상기 강화 프레임 표면으로부터 매립된 형태로 제작된 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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8
제1항에 있어서, 가동 전극이 강화 프레임 구조물의 일측에 더 형성된 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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9
제1항에 있어서, 마이크로미러와 조절 전극 사이 또는 조절 전극과 가동 전극 사이에 전위차를 인가하여 구동력을 조절하는 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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10
제1항에 있어서, 코일은 미러판 반사면의 후면의 기판 상부에 집적되어 형성하거나, 미러판 반사면 후면과 일정 거리에 별도로 형성하여 부착하는 것을 특징으로 하는 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러
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제1항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 스캐닝 마이크로미러와, 하나 이상의 렌즈를 포함하여 구성되고, 광원으로부터 상기 스캐닝 마이크로미러 패키지에 입사광을 제공하는 광학계를 포함하는 광스캐닝 장치
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제1항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 스캐닝 마이크로미러와, 하나 이상의 렌즈를 포함하여 구성되고, 광원으로부터 상기 스캐닝 마이크로미러 패키지에 입사광을 제공하는 광학계를 포함하는 광스캐닝 장치
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