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평판 디스플레이의 노광장치

  • 기술번호 : KST2015036838
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평판 디스플레이의 노광장치에 관한 것으로, 글라스가 안착된 척의 상부에는 처짐감지센서가 설치되고, 척의 하부에는 공압에 의해 작동되는 공압실린더 및 피스톤으로 마련되는 가압수단이 배치된다. 이에 따라, 평판 디스플레이를 지지하는 척의 처짐이 발생된 부분을 처짐감지센서로 감지하고, 이후 가압수단을 통해 처짐이 발생된 부위를 보완함으로써 척의 평탄도를 유지할 수 있게 된다. 평판 디스플레이, 노광장치, 척
Int. CL G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/707(2013.01) G03F 7/707(2013.01) G03F 7/707(2013.01) G03F 7/707(2013.01) G03F 7/707(2013.01) G03F 7/707(2013.01)
출원번호/일자 1020050026570 (2005.03.30)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1090481-0000 (2011.11.30)
공개번호/일자 10-2006-0104425 (2006.10.09) 문서열기
공고번호/일자 (20111208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 차상환 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박병창 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 *, 동주빌딩 *층 팍스국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0168833-75
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2010.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0194738-52
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0225287-60
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0355012-46
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0355013-92
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0663685-80
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
글라스가 안착되는 척과, 상기 글라스에 광을 조사하기 위한 노광기와, 상기 척의 처짐정도를 감지하는 처짐감지센서와, 상기 척의 처짐을 보완하도록 상기 척을 가압하는 가압수단을 구비한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 가압수단은 공압실린더와, 피스톤으로 마련된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 처짐감지센서에서 감지된 처짐을 토대로 피드백 공압을 계산하는 콘트롤러와, 피드백 공압을 상기 가압수단으로 피드백하는 전자 레귤레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 척이 평탄도를 유지할 수 있도록 상기 척의 위치를 조정하는 조정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 조정수단은 상기 척을 지지하는 힌지부와, 상기 힌지부를 구동하는 구동모터를 구비한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 척은 사각형상을 가지며, 상기 조정수단은 상기 척의 일측 중간부를 지지하는 제 1조정수단과, 상기 척의 타측 양단을 각각 지지하는 제2 및 제 3조정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 가압수단은 상기 척의 중심측에 배치되는 제 1가압수단과, 상기 제 1조정수단이 배치되는 측의 양단에 각각 배치되는 제2, 제 3가압수단과, 상기 제 2조정수단과 상기 제 2가압수단의 중간부에 배치되는 제 4가압수단과, 상기 제 3조정수단과 상기 제 3가압수단의 중간부에 배치되는 제 5가압수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.