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노광 장치

  • 기술번호 : KST2015036868
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요약 본 발명의 실시예에 의한 노광 장치는, 광원, 포토 마스크, 렌즈 시스템 및 노광 대상이 되는 기판이 올려지는 스테이지가 구비된 노광 장치에 있어서, 상기 렌즈 시스템은 한 쌍의 플라이 아이 렌즈가 소정 간격 이격 배열된 구조인 렌즈 모듈로 구성되며, 상기 노광 대상이 되는 상기 기판이 소면적인 경우 상기 한 쌍의 플라이 아이 렌즈 사이에 중간 렌즈가 삽입되어 초점 거리가 변경됨을 특징으로 한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 대면적 노광 및 소면적 노광을 수행할 때 렌즈 모듈의 교체 없이 대면적 또는 소면적 노광을 수행토록 함으로써, 대면적 노광이 셋업된 상태에서 소면적 노광을 수행할 때의 효율 저하를 극복하고, 별도의 렌즈 모듈을 사용하지 않아 비용 절감 효과를 얻을 수 있다는 장점이 있다. 또한, 이를 통해 향후 초 대형화되는 평판표시장치의 제품생산에 능동적으로 대처 가능하게 된다는 장점이 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70075(2013.01)G03F 7/70075(2013.01)G03F 7/70075(2013.01)
출원번호/일자 1020050026939 (2005.03.31)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1102695-0000 (2011.12.28)
공개번호/일자 10-2006-0104624 (2006.10.09) 문서열기
공고번호/일자 (20120105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.29)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용준 대한민국 경기 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허용록 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 현죽빌딩)(선영특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2005-0170609-57
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0195999-29
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0041751-91
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0280653-02
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0547204-19
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0547202-17
11 등록결정서
Decision to grant
2011.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0556783-79
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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광원, 포토 마스크, 렌즈 시스템 및 노광 대상으로서 대면적 또는 소면적으로 구분되는 기판이 올려지는 스테이지가 구비된 노광 장치에 있어서, 상기 렌즈 시스템은 대면적 노광을 위한 한 쌍의 플라이 아이 렌즈가 소정 간격 이격 배열된 구조인 렌즈 모듈로 구성되며, 상기 스테이지에 올려지는 기판이 대면적 또는 소면적 여부를 센서를 통해 미리 파악하고, 상기 파악된 정보를 통해 상기 노광 대상이 되는 상기 기판이 소면적인 경우 상기 한 쌍의 플라이 아이 렌즈 사이에 소정의 곡률을 갖는 중간 렌즈가 삽입되어 소면적 노광을 수행할 수 있도록 초점 거리가 변경됨을 특징으로 하는 노광 장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.