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마스크리스 노광기의 디지털 미러 디바이스 정렬방법

  • 기술번호 : KST2015037117
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요약 본 발명은, 마스크리스 노광기의 디지털 미러 디바이스 정렬방법에 관한 것으로, 예를 들어 LCD, PDP, OLED 등과 같은 다양한 디스플레이 디바이스를 대량 생산하는 데 필요한 마스크리스 노광기에 설치되는 복수의 디지털 미러 디바이스들이, 스테이지와 직진성을 갖도록 조정함과 아울러, 상기 디지털 미러 디바이스들이, 소정의 허용 오차 범위 내에서, 상호 정렬되도록 조정함으로써, 노광을 할 때 각각의 디지털 미러 디바이스들간의 정렬 오차로 인해 글라스에 형성되는 패턴에 오류가 크게 발생하게 되는 것을 효율적으로 예방할 수 있게 되는 매우 유용한 발명인 것이다. 마스크리스 노광기, 디지털 미러 디바이스, 스테이지, 알고리즘, 정렬, 패턴
Int. CL G03F 9/00 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01) G03F 7/70116(2013.01)
출원번호/일자 1020050032016 (2005.04.18)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1131442-0000 (2012.03.22)
공개번호/일자 10-2006-0109724 (2006.10.23) 문서열기
공고번호/일자 (20120330) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.14)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이창주 대한민국 전북 전주시 완산구
2 김상진 대한민국 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2005-0200858-57
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0236633-31
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0236604-17
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0050957-00
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0576391-43
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0787074-21
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0787073-86
12 등록결정서
Decision to grant
2012.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0164281-67
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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삭제
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마스크리스 노광기에 설치되는 복수의 디지털 미러 디바이스들이, 스테이지와 직진성을 갖도록, 디지털 미러 디바이스의 출력 패턴과, 스테이지 위에 설치된 마스크 글라스의 패턴을 서로 일치시키는 1단계; 및 상기 디지털 미러 디바이스들이, 소정의 허용 오차 범위 내에서, 상호 정렬되도록 조정하는 2단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 디지털 미러 디바이스 정렬방법
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마스크리스 노광기에 설치되는 복수의 디지털 미러 디바이스들이, 스테이지와 직진성을 갖도록 조정하는 1단계; 및 상기 디지털 미러 디바이스들이 상호 정렬되도록, 디지털 미러 디바이스를 통해 조사된 이미지 패턴과, 디지털 미러 디바이스 정렬용 글라스에 형성된 패턴의 중심 차이 값을, 소정의 허용 오차 범위 이내로 조정하는 2단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 디지털 미러 디바이스 정렬방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.