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기판 가열용 플레이트

  • 기술번호 : KST2015037206
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요약 본 발명은 열 및 하중에 의한 기판의 변형을 보상하여 기판의 전체 표면과 접촉하여 재료층으로 균일하게 열을 전달할 수 있는 가열 플레이트를 개시한다. 본 발명에 따른, 표면에 소정의 재료층이 형성된 기판과 접촉하여 재료층에 열을 전달하는 가열 플레이트는 기판이 놓이는 표면이 곡면으로 형성되어 있으며, 그 곡률은 변형될 기판 대응면의 곡률과 동일하다. 기판, 가열 플레이트
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/168(2013.01) G03F 7/168(2013.01)
출원번호/일자 1020050041247 (2005.05.17)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2006-0118847 (2006.11.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.16)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이춘탁 대한민국 경상북도 구미시
2 신성영 대한민국 서울특별시 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2005-0257626-96
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.10.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0724485-45
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2008.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0138371-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0243011-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0272595-19
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0543043-61
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0543046-08
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0613885-09
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2011.11.22 수리 (Accepted) 7-1-2011-0044660-91
13 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2011.12.23 보정각하 (Rejection of amendment) 7-1-2011-0050502-82
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
15 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2012.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0110514-12
16 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2012.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0110595-99
17 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2012.03.28 수리 (Accepted) 7-8-2012-0010037-78
18 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0413465-70
19 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0738301-33
20 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0738302-89
21 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0895335-14
22 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2014.03.27 수리 (Accepted) 7-8-2014-0008132-84
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
표면에 소정의 재료층이 형성된 기판과 접촉하여 재료층에 열을 전달하는 가열 플레이트에 있어서, 기판이 놓여지는 표면이 곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 가열 플레이트
2 2
제 1 항에 있어서, 기판이 놓여지는 표면은 그 곡률이 변형될 기판 대응면의 곡률과 동일한 것을 특징으로 하는 가열 플레이트
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.