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액정표시장치용 광학 마스크

기술번호 : KST2015037288
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 액정표시장치용 어레이 기판 상에 직사각형 형태의 콘택홀 형성에 이용되는 광학 마스크에 관한 것으로, 상기 직사각형의 콘택홀 내부 중 특히 단축면에 있어 기판의 표면으로부터 상부로 갈수록 상기 콘택홀의 면적이 점점 넓어지도록 하기 위한 테이퍼 구조를 갖도록 형성하기 위한 광학 마스크에 관한 것이다. 통상적으로 기판상의 직사각형 형태의 콘택홀에 대응하여 광학 마스크 상의 패턴은 상기 콘택홀과 동일한 형태로 형성되고 있으며, 이러한 광학 마스크를 이용하여 마스크 공정을 진행하여 형성된 콘택홀은 그 단축의 단면모양이 역테이퍼 구조를 갖게됨으로써 상기 콘택홀을 통해 상부와 하부층을 연결하는 패턴은 스탭커버리지 등이 좋지않게 되어 단선 및 저항의 증가 등에 의해 액정표시장치의 특성을 저하시키고 있지만, 본 발명의 따른 액정표시장치용 광학 마스크는 상기 직사각형 콘택홀에 대응되는 부분이 직사각형 형태를 갖는 제 1 영역 패턴과 상기 제 1 영역의 양측면에 특정 모양을 갖거나 또는 슬릿구조를 갖는 제 2 영역 패턴을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 광학 마스크를 제공함으로써 기판상에 테이퍼 구조의 콘택홀을 형성함으로써 전술한 문제를 해결할 수 있다.광학 마스크, 노광, 액정표시장치, 콘택홀, 테이퍼 구조
Int. CL	H01L 21/027 (2006.01)
CPC	G03F 1/36(2013.01) G03F 1/36(2013.01) G03F 1/36(2013.01)
출원번호/일자	1020050036002 (2005.04.29)
출원인	엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자	10-1113065-0000 (2012.01.31)
공개번호/일자	10-2006-0113118 (2006.11.02) 문서열기
공고번호/일자	(20120215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2010.04.13)
심사청구항수	13

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	강동호	대한민국	경상북도 구미시
2	권장운	대한민국	서울 강북구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	네이트특허법인	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로 *, *호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사		서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2005.04.29	수리 (Accepted)	1-1-2005-0226728-28
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2010.04.13	수리 (Accepted)	1-1-2010-0233970-98
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2011.05.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0288322-81
6	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2011.07.18	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2011-0548216-24
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2011.07.18	수리 (Accepted)	1-1-2011-0548215-89
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
10	등록결정서 Decision to grant	2012.01.05	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0008910-63

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 어레이 기판 상의 직사각형 형태의 콘택홀 형성에 이용되는 액정표시장치용 광학 마스크에 있어서,상기 어레이 기판 상의 각 콘택홀 형성 부분의 중앙부에 대응하여 제 1 폭을 갖는 사각형 형상의 제 1 영역 패턴과;상기 제 1 영역 패턴의 양 측면에서 각각 연장하며, 상기 제 1 폭보다 더 큰 제 2 폭을 가지며 형성된 제 2 영역 패턴을 포함하는 액정표시장치용 광학 마스크
2	2 제 1 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴은 사각형 또는 윗변이 상기 제 1 영역 패턴의 끝단과 접촉하는 사다리꼴 형상인 액정표시장치용 광학 마스크
3	3 어레이 기판 상의 직사각형 형태의 콘택홀 형성에 이용되는 액정표시장치용 광학 마스크에 있어서,상기 어레이 기판 상의 각 콘택홀 형성 부분의 중앙부에 대응하여 제 1 폭을 갖는 사각형 형상의 제 1 영역 패턴과;상기 제 1 영역 패턴의 양 측면에 바(bar) 패턴과 상기 바(bar) 패턴 사이의 슬릿영역을 갖는 제 2 영역 패턴을 포함하는 액정표시장치용 광학 마스크
4	4 제 3 항에 있어서,상기 각 바(bar) 패턴은 상기 제 1 영역 패턴 양끝단에서 각각 연장되어 상기 제 1 폭 방향에 대해 수직한 방향으로 그 길이 방향을 가지며 배치된 액정표시장치용 광학 마스크
5	5 제 4 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴의 상부 및 하부에, 상기 제 1 폭 방향으로 각각 연장하여 상기 제 2 패턴 영역과 동일한 구조를 갖는 제 3 영역 패턴이 더욱 형성된 액정표시장치용 광학 마스크
6	6 제 5 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴과 상기 제 3 영역 패턴 내의 상기 바 패턴은 상기 제 1 영역 패턴과 먼 쪽에 위치한 끝단이 일치하는 액정표시장치용 광학 마스크
7	7 제 4 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴 내의 각 바 패턴은 상기 제 1 영역 패턴의 제 1 폭의 중앙부와 가까워질수록 더 짧은 길이를 갖는 액정표시장치용 광학 마스크
8	8 제 3 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴 내의 바(bar) 패턴은 상기 제 1 폭 방향으로 그 길이를 가지며, 상기 제 2 영역 패턴의 양 끝단이 연장하는 방향으로 이격하며 배치된 액정표시장치용 광학 마스크
9	9 제 8 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴 내의 각 바(bar) 패턴은 상기 제 1 영역 패턴의 양끝단에서 멀어질수록 더 작은 길이를 갖는 액정표시장치용 광학 마스크
10	10 제 9 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴 내의 각 바(bar) 패턴 중 상기 제 1 영역 패턴의 양끝단과 이웃한 바 패턴은 그 길이가 상기 제 1 폭과 동일한 크기를 갖는 액정표시장치용 광학 마스크
11	11 제 8 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴 내의 각 바(bar) 패턴은 상기 제 1 영역 패턴의 양끝단에서 멀어질수록 더 큰 길이를 갖는 액정표시장치용 광학 마스크
12	12 제 11 항에 있어서,상기 제 2 영역 패턴 내의 각 바(bar) 패턴 중 상기 제 1 영역 패턴의 양끝단과 이웃한 바(bar) 패턴은 그 길이가 상기 제 1 폭과 동일한 크기를 갖는 액정표시장치용 광학 마스크
13	13 제 12 항에 있어서,상기 바 패턴은 그 양 끝단부에서 각각 상기 제 1 영역 패턴 쪽으로 절곡된 부분이 형성됨으로써 "[", "]"형태로 형성된 액정표시장치용 광학 마스크

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1113065-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20050429 출원 번호 : 1020050036002 공고 연월일 : 20120215 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120105 청구범위의 항수 : 13 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 액정표시장치용 광학 마스크 존속기간(예정)만료일 : 20190201

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	552,000 원	2012년 02월 01일	납입
제 4 년분	금 액	326,000 원	2014년 12월 30일	납입
제 5 년분	금 액	326,000 원	2015년 12월 28일	납입
제 6 년분	금 액	326,000 원	2016년 12월 14일	납입
제 7 년분	금 액	594,000 원	2017년 12월 18일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2005.04.29	수리 (Accepted)	1-1-2005-0226728-28
2	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2010.04.13	수리 (Accepted)	1-1-2010-0233970-98
4	출원인정보변경(경정)신고서	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
5	의견제출통지서	2011.05.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0288322-81
6	[명세서등 보정]보정서	2011.07.18	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2011-0548216-24
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2011.07.18	수리 (Accepted)	1-1-2011-0548215-89
8	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
9	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
10	등록결정서	2012.01.05	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0008910-63


기술번호	KST2015037288
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	액정표시장치용 광학 마스크
기술개요	본 발명은 액정표시장치용 어레이 기판 상에 직사각형 형태의 콘택홀 형성에 이용되는 광학 마스크에 관한 것으로, 상기 직사각형의 콘택홀 내부 중 특히 단축면에 있어 기판의 표면으로부터 상부로 갈수록 상기 콘택홀의 면적이 점점 넓어지도록 하기 위한 테이퍼 구조를 갖도록 형성하기 위한 광학 마스크에 관한 것이다. 통상적으로 기판상의 직사각형 형태의 콘택홀에 대응하여 광학 마스크 상의 패턴은 상기 콘택홀과 동일한 형태로 형성되고 있으며, 이러한 광학 마스크를 이용하여 마스크 공정을 진행하여 형성된 콘택홀은 그 단축의 단면모양이 역테이퍼 구조를 갖게됨으로써 상기 콘택홀을 통해 상부와 하부층을 연결하는 패턴은 스탭커버리지 등이 좋지않게 되어 단선 및 저항의 증가 등에 의해 액정표시장치의 특성을 저하시키고 있지만, 본 발명의 따른 액정표시장치용 광학 마스크는 상기 직사각형 콘택홀에 대응되는 부분이 직사각형 형태를 갖는 제 1 영역 패턴과 상기 제 1 영역의 양측면에 특정 모양을 갖거나 또는 슬릿구조를 갖는 제 2 영역 패턴을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 광학 마스크를 제공함으로써 기판상에 테이퍼 구조의 콘택홀을 형성함으로써 전술한 문제를 해결할 수 있다.광학 마스크, 노광, 액정표시장치, 콘택홀, 테이퍼 구조
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

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