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노광기용 갭센서

  • 기술번호 : KST2015037291
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요약 본 발명은 노광기용 갭센서에 관한 것이다. 본 발명은 가이드단차(22,22'')와 가이드핀(24,24'')이 구비되는 베이스(20)와, 상기 베이스(20) 상에 상기 가이드단차(22)와 가이드핀(24)에 의해 설치위치가 안내되고 갭의 측정을 위한 레이저를 제공하는 레이저소스(26)와, 상기 베이스(20)상에 상기 가이드단차(22)와 가이드핀(24)에 의해 설치위치가 안내되고 상기 레이저소스(26)에서 나와 작업대상물을 통과한 레이저를 받아 카메라(30)로 전달하는 경통(32)과, 상기 가이드단차(22'')와 가이드핀(24'')에 의해 설치위치가 안내되는 고정홀더(36)와, 상기 레이저소스(26)에서 나와 상기 경통(32)으로 전달되는 레이저의 경로를 형성하고 상기 고정홀더(36)상에 구비되는 제1 및 제2 반사경(37,42)을 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 노광기의 갭센서는 그 구성부품의 장착위치를 정확하게 설정할 수 있고, 반사경의 일부를 회전시키면서 위치조정할 수 있어 갭센서의 세팅을 용이하면서도 정확하게 할 수 있고, 마스크와 글래스 사이의 갭을 정확하게 측정할 수 있게 되는 이점이 있다.노광기, 글래스, 마스크, 갭, 감지
Int. CL G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 9/7046(2013.01) G03F 9/7046(2013.01) G03F 9/7046(2013.01) G03F 9/7046(2013.01) G03F 9/7046(2013.01) G03F 9/7046(2013.01)
출원번호/일자 1020050037617 (2005.05.04)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1167727-0000 (2012.07.16)
공개번호/일자 10-2006-0115212 (2006.11.08) 문서열기
공고번호/일자 (20120723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송창훈 대한민국 부산광역시 사하구
2 조용준 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인우린 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 ***, *층 (역삼동, 정호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2005-0236479-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0289666-68
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.09.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0076357-13
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0548831-30
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0937347-10
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0937348-66
11 등록결정서
Decision to grant
2012.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0246474-73
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가이드단차와 가이드핀이 구비되는 베이스와,상기 베이스 상에 상기 가이드단차와 가이드핀에 의해 설치위치가 안내되고 갭의 측정을 위한 레이저를 제공하는 레이저소스가 장착되는 소스브래킷과,상기 베이스상에 상기 가이드단차와 가이드핀에 의해 설치위치가 안내되고 상기 레이저소스에서 나와 작업대상물을 통과한 레이저를 받아 카메라로 전달하는 경통이 장착되는 경통브래킷,상기 가이드단차와 가이드핀에 의해 설치위치가 안내되는 고정홀더, 그리고상기 레이저소스에서 나와 상기 경통으로 전달되는 레이저의 경로를 형성하고 상기 고정홀더상에 구비되는 제1 및 제2 반사경을 포함하여 구성되고,상기 소스브래킷, 경통브래킷 및 고정홀더에 형성된 두 개의 측면이 상기 가이드단차와 가이드핀에 의해 안내됨을 특징으로 하는 노광기의 갭센서
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삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제1반사경은 상기 고정홀더에 고정설치되고, 상기 제2반사경은 회전가능하게 설치됨을 특징으로 하는 노광기의 갭센서
4 4
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 제2반사경은 상기 고정홀더에 회전가능하게 설치되는 회전홀더 상에 고정되어 설치되고, 상기 회전홀더가 회전된 상태를 고정하기 위해 상기 고정홀더를 관통하여 선단이 상기 회전홀더의 외주면에 밀착되는 세트스크류가 구비됨을 특징으로 하는 노광기의 갭센서
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 고정홀더에 대해 회전홀더가 회전된 정도를 확인할 수 있도록 상기 고정홀더와 회전홀더의 대응되는 위치에는 숫자눈금과 지시눈금이 구비됨을 특징으로 하는 노광기의 갭센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.