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반도체 장비의 이물포집장치

  • 기술번호 : KST2015037465
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요약 본 발명에 따른 반도체장비의 이물포집장치는 반도체 장비로부터 이물질을 배출시키는 펌프와; 상기 반도체 장비로부터 배출된 이물질을 육안으로 확인하는 이물질 육안가시화수단과; 상기 이물질 육안가시화수단을 거친 이물질을 포집하는 이물질 포집수단을 포함하여 구성되기 때문에 이물질을 포집함과 더불어 포집되는 이물질의 정보를 획득할 수 있는 이점이 있다. 반도체, 반도체장비, 이물질, 이물포집장치
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01)
출원번호/일자 1020050045038 (2005.05.27)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1100315-0000 (2011.12.22)
공개번호/일자 10-2006-0122506 (2006.11.30) 문서열기
공고번호/일자 (20111230) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김길준 대한민국 서울특별시 강남구
2 성준경 대한민국 경기 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박병창 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 *, 동주빌딩 *층 팍스국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2005-0281957-01
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0329049-35
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0050996-70
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0389633-66
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0714008-39
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0714009-85
11 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0709860-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 장비로부터 이물질을 배출시키는 펌프와; 상기 반도체 장비로부터 배출된 이물질을 육안으로 확인하는 이물질 육안가시화수단과; 상기 이물질 육안가시화수단을 거친 이물질을 포집하는 이물질 포집수단을 포함하고, 상기 이물질 포집수단은, 상기 이물질 육안가시화수단과 연결된 포집 챔버와; 상기 포집 챔버 내에 착탈 가능토록 구비되어 이물질이 흡착되는 포집 시트와; 상기 포집 챔버 내에 구비되어 상기 포집 시트에 포집된 이물질을 확대할 수 있는 루페를 포함하는 반도체 장비의 이물포집장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 이물질 육안가시화수단은, 상기 반도체장비 및 이물질 포집수단과 연결되고 윈도우가 구비된 육안가시화 챔버와; 상기 육안가시화 챔버 내에 구비되어 상기 육안가시화 챔버 내 이물질을 빛의 산란을 통해 육안으로 확인할 수 있도록 하는 육안가시화 램프 및 반사거울로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 이물포집장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 육안가시화 챔버에는 이물질이 흡입/토출되는 흡입구/토출구에 각각 개폐작용을 행하는 흡입구/토출구 셔터가 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 이물포집장치
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 포집 챔버에는 포집 램프가 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 이물포집장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 포집 시트는 상기 포집 챔버의 일측에 형성된 슬릿을 통해 슬라이딩 방식으로 착탈되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 이물포집장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.