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광원과,상기 광원에서 나온 광을 그 편광성분에 따라 반사 또는 투과하는 편광빔분할 프리즘과,상기 편광빔분할프리즘에서 반사나 투과되어 전달된 각각의 편광성분을 각각의 편광성분을 각각의 단위미러가 작업대상물에 형성되는 패턴형상에 맞추어 반사하고 상기 단위미러가 서로 위상차를 가지는 제1 및 제2 디지털 미러와,상기 제1 및 제2 디지털 미러에서 반사되어 나오는 광의 편광성분을 변환하여 상기 편광빔분할프리즘에서 반사 또는 투과되도록 하는 제1 및 제2회전편광자를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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제 1 항에 있어서, 상기 광원과 편광빔분할 프리즘의 사이에는 광의 분포를 고르게 하는 플라이아이렌즈와 광을 평행하게 만들어주는 컨덴서렌즈가 더 구비됨을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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제 2 항에 있어서, 상기 광원과 상기 플라이아이렌즈 사이에는 광의 경로를 바꾸어주는 미러가 더 구비됨을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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제 1 항에 있어서, 상기 편광빔분할프리즘을 통과하여 작업대상물로 전달되는 광의 경로 상에는 광의 크기를 확대나 축소시키는 프로젝션렌즈와 광이 작업대상물에 정확하게 집광되도록 하는 포커싱렌즈가 더 구비됨을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광원은 초고압 수은등이 사용되고, 상기 수은등에서 나온 공은 타원경에 의해 모아져 일방향으로 전달됨을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 광원으로는 레이저 다이오드가 사용됨을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 편광성분은 p편광과 s편광임을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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제 7 항에 있어서, 상기 편광빔분할프리즘은 p편광성분을 반사하고 s편광성분을 투과하거나, p편광성분을 투과하고 s편광성분을 반사함을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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제 1 항에 있어서, 상기 회전편광자는 각각의 편광성분을 45°만큼 회전시켜 편광성분을 바꿈을 특징으로 하는 노광기의 광학계
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