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미세 패턴 형성용 마스크 형성장치

  • 기술번호 : KST2015038023
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요약 본 발명은 공정을 단순화시켜서 생산성을 향상시키고 재료비를 절감시키기에 알맞은 미세 패턴 형성용 마스크 형성장치를 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 미세 패턴 형성용 마스크 형성장치는 챔버내에 소프트 몰드가 접착된 백-프레인을 고정시키기 위한 백-프레인 고정부와; 상기 백-프레인 고정부를 상하 구동시키기 위한 상하 구동부와; 액상 고분자 물질이 형성된 기판이 로딩될 스테이지와; 상기 스테이지를 z축 방향으로 구동시킬 z축 구동부와; 상기 챔버 하면의 일영역에 공기를 유입시키기 위한 제 1 공기 구멍; 상기 챔버 하면의 타영역에 상기 챔버를 진공 상태로 만들기 위한 제 2 공기 구멍과; 상기 챔버의 상부면에 배치된 얼라이너(aligner)와; 상기 챔버 상부의 일영역에 구비되어 상기 기판상에 UV를 조사하기 위한 UV 램프를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 챔버, 소프트 몰드, 기판
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020050055195 (2005.06.24)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1096701-0000 (2011.12.14)
공개번호/일자 10-2006-0135307 (2006.12.29) 문서열기
공고번호/일자 (20111222) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.14)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조규철 대한민국 경기도 군포시
2 채기성 대한민국 인천광역시 연수구
3 김진욱 대한민국 경기 의왕시
4 이창희 대한민국 경기 화성시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2005-0338975-37
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0379007-34
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0060536-71
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0403433-61
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0729738-91
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0729736-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
11 등록결정서
Decision to grant
2011.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0701394-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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챔버내에 소프트 몰드가 접착된 백-프레인을 고정시키기 위한 백-프레인 고정부와; 상기 백-프레인 고정부를 상하 구동시키기 위한 상하 구동부와; 액상 고분자 물질이 형성된 기판이 로딩될 스테이지와; 상기 스테이지를 z축 방향으로 구동시킬 z축 구동부와; 상기 챔버 하면의 일영역에 공기를 유입시키기 위한 제 1 공기 구멍; 상기 챔버 하면의 타영역에 상기 챔버를 진공 상태로 만들기 위한 제 2 공기 구멍과; 상기 챔버의 상부면에 배치된 얼라이너(aligner)와; 상기 챔버 상부의 일영역에 구비되어 상기 기판상에 UV를 조사하기 위한 UV 램프를 포함하여 구성되고, 상기 백-프레인 지지대는 상기 백-프레인의 양측 가장자리를 지지하도록 일방향으로 구성되거나, 가장자리의 네 모서리 부분을 지지하도록 구성되거나, 전체 가장자리를 따라 구성되어 있으며, 상기 백-프레인 지지대는 상기 백-프레인이 수평 방향으로 많이 벗어나는 것을 방지해주기 위해서 상기 백-프레인에 인접하게 세로 방향의 지지구성부가 더 구비되어 있음을 특징으로 하는 미세 패턴 형성용 마스크 형성장치
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제 1 항에 있어서, 상기 얼라이너는 상기 챔버 상부에 적어도 2개이상 배치되어 있음을 특징으로 하는 미세 패턴 형성용 마스크 형성장치
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제 1 항에 있어서, 상기 UV 램프는 상기 기판에 전체적으로 균일하게 UV를 조사할 수 있도록 상기 챔버 상부면의 중앙 부분에 배치되어 있음을 특징으로 하는 미세 패턴 형성용 마스크 형성장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.