| 1 |
1
광결정 패턴 무늬를 갖는 광을 생성하는 단계와;상기 광결정 패턴 무늬를 갖는 광으로 발광 소자 구조물의 상부에 있는 감광막을 노광시키는 단계와;상기 노광된 감광막을 현상하여 광결정을 갖는 감광막 패턴을 형성하는 단계와;상기 감광막 패턴으로 상기 발광 소자 구조물을 식각하여 광결정 패턴을 갖는 발광 소자 구조물을 형성하는 단계를 포함하여 구성되며,상기 광결정 패턴 무늬를 갖는 광은,경로차를 갖는 둘 이상의 레이저 광이 만나서 주기적인 간섭무늬를 만드는 레이저 홀로그램으로 생성하는 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 광결정 패턴 무늬를 갖는 광은,레이저광을 방출하는 레이저와; 상기 레이저에서 방출되는 광빔을 분리하는 빔 익스펜더(Beam expander)와; 상기 분리된 광빔을 평행하게 전송하는 렌즈계와; 상기 렌즈계를 통하여 전송되는 광빔(A,B) 중 하나의 광빔(A)을 전달받아 반사시키는 자외선 미러로 구성되는 장치를 이용하여,상기 렌즈계를 통하여 전송되는 광빔(A,B) 중 다른 하나의 광빔(B)과 상기 자외선 미러에서 반사된 광빔(C)이 간섭되어 이루어지는 광결정 패턴 무늬의 광인 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 감광막 패턴은,1차원 또는 2차원 광결정 패턴인 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서, 상기 2차원 광결정 패턴은,상기 광결정 패턴 무늬를 갖는 광으로 발광 소자 구조물의 상부에 있는 감광막을 1차 노광시킨 후, 상기 1차 노광시의 상기 광결정 패턴 무늬를 갖는 광이 일정각도 회전된 광결정 패턴 무늬를 갖는 광으로, 상기 발광 소자 구조물의 상부에 있는 감광막을 2차 노광시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 각도는,1°~ 90°인 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 발광 소자 구조물은,기판 상부에 발광층을 포함한 적층 에피층, 투명전극과 감광막이 순차적으로 형성되어 이루어진 구조물인 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서, 상기 투명전극과 감광막 사이에,식각시 상기 투명전극을 보호하기 위한 보호층이 더 구비된 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
| 9 |
9
제 7 항에 있어서, 상기 적층 에피층은,제 1 극성을 갖는 제 1 반도체층, 발광층과 상기 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 제 2 반도체층이 순차적으로 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서, 상기 발광 소자 구조물이 복수개의 막이 적층된 구조물이고,상기 발광 소자 구조물의 식각은, 일부의 막까지만 식각하여 광결정 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 광결정 구조를 갖는 발광 소자의 제조 방법
|
