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기판 얼라이너 및 이를 이용한 로드락챔버

기술번호 : KST2015038143
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 로봇(robot)에 의한 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)이 가능하도록 쉘프(shelf)로부터 돌출되어 기판을 소정높이로 부양 지지하는 복수개의 센터핀(center pin)을 구비한 기판 얼라이너(aligner) 및 이를 이용한 로드락 챔버(loadlock chamber)에 관한 것이다.구체적으로 본 발명은 쉘프와; 상기 쉘프로부터 직립된 베이스부 및 상기 베이스부 상에 착탈 가능하게 결합되어 기판을 지지하는 헤드부를 각각 포함하는 복수개의 센터핀과; 상기 쉘프의 측방으로부터 멀거나 가까워지도록 연동되어 상기 센터핀 상에 안착된 상기 기판을 밀어 정위치 정렬시키는 복수개의 얼라인바를 포함하는 기판 얼라이너 그리고 이를 이용한 로드락 챔버를 개시하고 있다.그 결과 본 발명에 따른 기판 얼라이너는 센터핀의 헤드부 상에 놓여지는 기판에 가해지는 충격을 최소화하고 헤드부 만의 교체를 통해 자원과 비용을 절감시키며 정전기로 인한 탈착 현상을 억제할 수 있다.아울러 이를 이용한 로드락 챔버를 통해 보다 원활한 평판표시장치의 제조공정을 가능케 한다.
Int. CL	G02F 1/13 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)
CPC	H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01)
출원번호/일자	1020050055656 (2005.06.27)
출원인	엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자	10-1192177-0000 (2012.10.11)
공개번호/일자	10-2007-0000145 (2007.01.02) 문서열기
공고번호/일자	(20121017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2010.06.23)
심사청구항수	9

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	이준석	대한민국	전라남도 순천시

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	네이트특허법인	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로 *, *호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사		서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2005.06.27	수리 (Accepted)	1-1-2005-0341940-11
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2010.06.23	수리 (Accepted)	1-1-2010-0404118-81
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
7	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2012.01.12	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
8	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2012.02.17	수리 (Accepted)	9-1-2012-0011176-34
9	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2012.04.06	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0206948-86
10	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2012.06.05	수리 (Accepted)	1-1-2012-0448071-12
11	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2012.06.05	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2012-0448072-68
12	등록결정서 Decision to grant	2012.10.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0602878-66

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 쉘프와;상기 쉘프로부터 직립된 베이스부 및 상기 베이스부 상에 착탈 가능하게 결합되어 기판을 지지하는 비금속재질의 헤드부를 각각 포함하는 복수개의 센터핀과;상기 복수개의 센터핀 중 적어도 두 개 씩이 한 조를 이루도록, 적어도 두 개 씩의 상기 베이스부 하단을 측방 연결하는 복수개의 연결바와;상기 쉘프의 측방으로부터 멀거나 가까워지도록 연동되어 상기 센터핀 상에 안착된 상기 기판을 밀어 정위치 정렬시키는 복수개의 얼라인바를 포함하는 기판 얼라이너
2	2 제 1항에 있어서,상기 베이스부는 금속이고, 상기 헤드부는 피크재질인 기판 얼라이너
3	3 제 1항에 있어서,상기 기판에 밀착되는 상기 헤드부 상면은 볼록하게 라운딩된 기판 얼라이너
4	4 제 1항에 있어서,상기 베이스부 상면에 인입 형성된 끼움홈과;상기 헤드부 하면으로부터 하방 돌출되어 상기 끼움홈에 삽입되는 끼움구를 더욱 포함하는 기판 얼라이너
5	5 제 4항에 있어서,상기 베이스부 상단 외측면으로부터 상기 끼움홈 내의 상기 끼움구로 측방 삽입되는 적어도 하나의 스크류를 더욱 포함하는 기판 얼라이너
6	6 제 1항에 있어서,상기 쉘프로부터 상향 돌출된 복수개의 마크핀과;상기 베이스부 하면으로부터 인입 형성되거나 또는 상기 베이스부에서 이탈된 상기 연결바에 관통되어 상기 마크핀이 각각 끼워지는 복수개의 장착홈을 더욱 포함하는 기판 얼라이너
7	7 제 1항 내지 제 6항 중 어느 하나의 선택된 항의 기재에 따른 기판 얼라이너를 이용한 로드락 챔버로서,제 1 및 제 2 환경이 변화조성 되며 상기 기판 얼라이너가 실장되는 내부영역 및 상기 내부영역을 외부의 제 1 및 제 2 환경에 각각 연통시키는 제 1 및 제 2 슬롯게이트를 포함하는 로드락 챔버
8	8 제 7항에 있어서,상기 내부영역에는 상기 기판 얼라이너가 상하 복층으로 실장되는 로드락 챔버
9	9 제 8항에 있어서,상기 제 1, 제 2 환경은 각각 대기압과 진공환경인 로드락 챔버

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1192177-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20050627 출원 번호 : 1020050055656 공고 연월일 : 20121017 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20121010 청구범위의 항수 : 9 유별 : H01L 21/68 발명의 명칭 : 기판 얼라이너 및 이를 이용한 로드락챔버 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	396,000 원	2012년 10월 12일	납입
제 4 년분	금 액	238,000 원	2015년 09월 30일	납입
제 5 년분	금 액	238,000 원	2016년 09월 13일	납입
제 6 년분	금 액	238,000 원	2017년 09월 15일	납입
제 7 년분	금 액	442,000 원	2018년 09월 17일	납입
제 8 년분	금 액	442,000 원	2019년 09월 17일	납입
제 9 년분	금 액	442,000 원	2020년 09월 25일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2005.06.27	수리 (Accepted)	1-1-2005-0341940-11
2	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2010.06.23	수리 (Accepted)	1-1-2010-0404118-81
4	출원인정보변경(경정)신고서	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
5	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
6	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
7	선행기술조사의뢰서	2012.01.12	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
8	선행기술조사보고서	2012.02.17	수리 (Accepted)	9-1-2012-0011176-34
9	의견제출통지서	2012.04.06	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0206948-86
10	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2012.06.05	수리 (Accepted)	1-1-2012-0448071-12
11	[명세서등 보정]보정서	2012.06.05	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2012-0448072-68
12	등록결정서	2012.10.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0602878-66


기술번호	KST2015038143
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	기판 얼라이너 및 이를 이용한 로드락챔버
기술개요	본 발명은 로봇(robot)에 의한 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)이 가능하도록 쉘프(shelf)로부터 돌출되어 기판을 소정높이로 부양 지지하는 복수개의 센터핀(center pin)을 구비한 기판 얼라이너(aligner) 및 이를 이용한 로드락 챔버(loadlock chamber)에 관한 것이다.구체적으로 본 발명은 쉘프와; 상기 쉘프로부터 직립된 베이스부 및 상기 베이스부 상에 착탈 가능하게 결합되어 기판을 지지하는 헤드부를 각각 포함하는 복수개의 센터핀과; 상기 쉘프의 측방으로부터 멀거나 가까워지도록 연동되어 상기 센터핀 상에 안착된 상기 기판을 밀어 정위치 정렬시키는 복수개의 얼라인바를 포함하는 기판 얼라이너 그리고 이를 이용한 로드락 챔버를 개시하고 있다.그 결과 본 발명에 따른 기판 얼라이너는 센터핀의 헤드부 상에 놓여지는 기판에 가해지는 충격을 최소화하고 헤드부 만의 교체를 통해 자원과 비용을 절감시키며 정전기로 인한 탈착 현상을 억제할 수 있다.아울러 이를 이용한 로드락 챔버를 통해 보다 원활한 평판표시장치의 제조공정을 가능케 한다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

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