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디스플레이 수단의 메탈 마스크 검사 방법
- 기술번호 : KST2015038183
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| 요약 | 본 발명은 디스플레이의 Metal Mask 검사를 위하여 유효검사영역의 설정에 관한 것이다. 본 발명의 유효검사영역을 자동 설정하기 위해, 상기 촬상수단으로 획득한 이미지의 검사 영역을 설정하기 위해 영상처리하고, 상기 촬상수단으로 부터 획득한 이미지로부터 마스크의 결함을 검출하여 서로 비교함므로써 검사유효영역을 자동 설정할 수 있다. 따라서 본 발명에 의하면, Mask내의 Cell 사이즈의 변화와 카메라가 촬상한 이미지의 영역 유형에 따라 유형을 찾는 각각의 알고리즘을 구현할 필요가 없으며, 또한 카메라의 검사 Path에 무관하게 동일한 알고리즘을 적용하여 전 영역에 걸쳐서 실제 검사 유효영역내의 결함만을 검출하여 효율적인 검사를 수행할 수 있다. 메탈, 마스크, 결함, 검출 |
|---|---|
| Int. CL | H04N 17/00 (2006.01) |
| CPC | H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020050061746 (2005.07.08) |
| 출원인 | 엘지전자 주식회사 |
| 등록번호/일자 | 10-1053779-0000 (2011.07.27) |
| 공개번호/일자 | 10-2007-0006424 (2007.01.11) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110802) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2010.06.30) |
| 심사청구항수 | 4 |