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폴리이미드필름(5)을 공급하면서 외면에 전도성 금속을 피복시키는 것에 있어서, 필름롤(111)에 감겨진 폴리이미드필름(5)을 보호필름(6)과 분리시키면서 장력을 조절하여 이송시키는 권출장치(100)가 구비된 권출공정부(2);권출공정부(2)에서 공급되는 폴리이미드필름(5)의 표면을 탈지장치(11)와 수세장치(12)에 의해 탈지하고 수세시켜 이물질을 제거하는 탈지공정부(10);이물질이 제거되어 이송되는 폴리이미드필름(5)의 표면을 제1에칭장치(23) 및 제2에칭장치(25)와 수세장치(24)(26)에 의해 반복적으로 에칭 및 수세시키는 에칭공정부(20);표면이 에칭되어 이송되는 폴리이미드필름(5)을 중화장치(31)와 수세장치(32)에 의해 중화 및 수세시키는 중화공정부(30);중화되어 이송되는 폴리이미드필름(5)의 표면을 커플링장치(41)와 산세장치(42)에 의해 커플링제와 산에 의해 커플링하고 세척하는 커플링공정부(40);표면이 커플링되어 이송되는 폴리이미드필름(5)에 활성화장치(51)와 수세장치(52)에 의해 촉매를 흡착시키고 수세시키는 촉매부여공정부(50);촉매가 흡착되어 이송되는 폴리이미드필름(5)을 하부도금장치(61)와 수세장치(62)에 의해 제 1 전도성 금속층을 표면에 형성하고 수세시키는 하부도금 공정부(60);제1전도성 금속층이 표면에 형성되어 이송되는 폴리이미드필름(5)을 전류가 인가되는 도금장치(71)와 수세장치(72)에 의해 제 2 전도성 금속층을 형성하는 도금공정부(70);제 2 전도성 금속층이 형성되어 이송되는 폴리이미드필름(5)을 건조장치(400)에 의해 건조시키는 건조공정부(80);소정 공정부의 중간에 보조구동장치(600)를 설치하여 이송되는 폴리이미드필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90);제 2 전도성 금속층이 완전히 건조되어 형성되는 전도성금속도금폴리이미드필름(7)를 권취장치(400)에 의해 보호필름(8)를 부가시키고 장력을 조절하면서 권취롤(460)에 감아 주는 권취공정부(3);가 포함되는 것을 특징으로 하는 전도성 금속 도금 폴리이미드필름 제조시스템
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청구항 1에 있어서, 권출공정부(2)의 권출장치(100)는; 직육면체로 된 권출장치틀(101)의 밑판 저면 모서리에 통상의 받침다리(102)와 캐스터(103)를 각각 설치한 것에 있어서;권출장치틀(101)의 내부 입구측에 설치된 필름롤 장착대(110)의 상측과 하측에는 보호필름 회수롤(112)과 필름롤(111)를 착탈시킬 수 있도록 설치한 것과;필름롤 장착대(110)의 바닥면에 기동모터(113)를 설치하여 필름롤(111)을 회전시키도록 한 것과;권출장치틀(101)의 내부 중간에 설치된 테이블(131)의 상측에는 공급유도롤(120)과 단부연결장치(170) 및 방향전환롤(130)을 차례로 설치한 것과;권출장치틀(101)의 내부 후반에는 폴리이미드필름(5)의 장력을 조정하는 장력조정장치를 설치한 것; 이 포함되는 것을 특징으로 하는 전도성 금속 도금 폴리이미드필름 제조시스템
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청구항 1에 있어서, 탈지공정부(10)ㆍ제1에칭공정부(21)ㆍ제2에칭공정부(22)ㆍ중화공정부(30)ㆍ커플링공정부(40)ㆍ촉매부여공정부(50)ㆍ하부도금공정부(60)ㆍ 도금공정부(70)의 각 탈지장치(11)ㆍ제1에칭장치(23)ㆍ제2에칭장치(25)ㆍ중화장치(31)ㆍ커플링장치(41)ㆍ활성화장치(51)ㆍ하부도금장치(61)ㆍ도금장치(71)는; 직육면체로 형성된 기능장치틀(200)의 저면 각 모서리에 통상의 받침다리(201)와 캐스터(202)를 각각 설치한 것에 있어서;기능장치틀(200)의 내부 상측부에 상측으로 개방되는 액상조(210)를 받침대(204)에 의해 받쳐 설치한 것과;액상조(210)에는 액상물질(250)을 충진시킨 것과;액상조(210)의 내부에는 이송롤러(211)를 등간격으로 유지시키면서 상하로 분할 설치하되 액상물질(250)에 충분히 잠기도록 설치한 것과;후단 최종 이송롤러(211)의 선상에서 탈지액의 상측부에는 한 쌍의 롤러(231)로 구성된 스퀴징부(230)를 설치한 것과;기능장치틀(200)의 상부 양측에는 커버(207)가 씌워지는 전이롤러(205)(206)를 각각 설치한 것;이 포함되는 것을 특징으로 하는 전도성 금속 도금 폴리이미드필름 제조시스템
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청구항 1에 있어서, 탈지공정부(10)ㆍ제1에칭공정부(21)ㆍ제2에칭공정부(22)ㆍ중화공정부(30)ㆍ커플링공정부(40)ㆍ촉매부여공정부(50)ㆍ하부도금공정부(60)ㆍ 도금공정부(70)의 각 수세장치(12)(24)(26)(32)(42)(52)(62)(72)는;직육면체 형상으로 된 수세장치틀(300)의 저면 각 모서리에 통상의 받침다리(201)와 캐스터(202)를 각각 설치한 것에 있어서;수세장치틀(300)의 내부 상측부에는 받침대(302)에 의해 받쳐 지지되는 수세조(310)를 설치하되, 수세조(310)는 칸막이벽체(314)에 의해 내부가 제1ㆍ제2ㆍ제3수세실(311)(312)(313)로 분할하여 세척수(340)를 충진시킨 것과;받침판(302)의 하측에는 수세조(310)에 세척수를 공급시켜 주는 펌핑모터(350)를 받침대(301)에 의해 받쳐 설치한 것과;제1ㆍ제2ㆍ제3수세실(311)(312)(313)의 내부에는 세척롤러(32)를 세척수(340)에 충분히 잠기도록 각각 설치하고, 칸막이벽체(314)의 상측에는 탈수롤러(330)를 각각 설치하여, 폴리이미필름(5)이 세척롤러(32)과 탈수롤러(330)를 반복으로 통과하도록 한 것과;수세장치틀(300)의 상부 양측에는 커버(207)가 씌워지는 전이롤러(206)(380)를 각각 설치한 것;이 포함되는 것을 특징으로 하는 전도성 금속 도금 폴리이미드필름 제조시스템
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청구항 1에 있어서, 건조공정부(80)의 건조장치(400)는;직육면체형으로 형성된 건조장치틀(401)의 저면 각 모서리에 통상의 받침다리(402)와 캐스터(403)를 각각 설치한 것에 있어서;건조장치틀(401)의 상부 양단에는 인입용 전이롤러(404)와 배출용 전이롤러(405)를 각각 설치한 것과;건조장치틀(401)의 내부에는 히팅실(410)과 건조실(420)을 형성한 것과;히팅실(410)에는 히팅장치를 설치하고, 건조실(420)의 내부에는 이송롤러(421)를 등 간격으로 유지시키면서 상하 반복적으로 설치한 것;이 포함되는 것을 특징으로 하는 전도성 금속 도금 폴리이미드필름 제조시스템
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청구항 1에 있어서, 권취공정부(3)의 권취장치(500)는; 직육면체형으로 형성된 권취장치틀(501)의 저면 각 모서리에 통상의 받침다리(502)와 캐스터(503)를 각각 설치하 것에 있어서; 권취장치틀(501)의 내부에서 입구 상측부에는 전도성금속도금폴리이미드필름(7)을 안전되게 유지시키는 복수개의 이송롤러(510)를 상하로 반복 설치한 것과;이송롤러(510)의 내측에는 전도성금속도금폴리이미드필름(7)의 장력을 조정하는 장력조정장치를 설치한 것과;상기 장력조절장치의 배출측에 테이블(552)을 설치하고, 그 상면 양측에 방향전환롤러(550)와 배출롤러(551)를 설치한 것과;테이블(552)의 외측에는 권취롤장착대(560)를 설치하되, 권취롤장착대(560)의 상측과 하측에는 보호필름공급롤(580)과 권취롤(570)을 착탈시킬 수 있도록 설치한 것과;테이블(552)의 내부 하측에는 기동모터(553)를 설치하여 권취롤(570)을 회전시킬 수 있도록 한 것;이 포함되는 것을 특징으로 하는 전도성 금속 도금 폴리이미드필름 제조시스템
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청구항 1에 있어서, 이송되는 폴리이미드필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90)의 보조구동장치(600)는;하나의 기동롤러(610)와 복수개의 연동롤러(620)를 장치틀의 상측에 지그재그로 굴대 설치하여 폴리이미드필름(5)을 걸어준 것과;기동롤러(610)를 보조구동모터(630)의 회전시키도록 한 것;을 특징으로 하는 전도성 금속 도금 폴리이미드필름 제조시스템
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청구항 2 또는 청구항 6에 있어서, 폴리이미드필름(5) 또는 전도성금속도금폴리이미드필름(7)의 장력을 조정하는 장력조정장치는;장치틀의 내부 상측에는 복수개의 고정롤러(140)(520)를 등 간격으로 이격시켜 축으로 설치한 것과;고정롤러(140)의 사이에는 움직롤러(150)(530)가 굴대 설치된 이동대(151)(5312)를 구비한 것과;움직롤러(150)(530)가 굴대 설치된 이동대(151)(530)의 양측에 가이드레일(160)을 수직으로 설치하여 이동대(151)(530)를 가이드레일(160)에 결합시킨 것과;이동대(151)(530)를 상하로 이동시키면서 움직롤러(150)(530)의 높낮이를 조정하면서 고정시키도록 한 것;이 포함되는 것을 특징으로 하는 전도성 금속 도금 폴리이미드필름 제조시스템
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