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소프트몰드와 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015038287
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요약 본 발명에 따른 소프트 몰드는 따른 크기가 작은 패턴과; 크기가 크고 넓은 패턴과; 상기 크기가 크고 넓은 패턴은 상기 크기가 작은 패턴보다 단면의 높이가 작게 구비된 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 이루기 위한 수단으로 소프트몰드 제조하는 방법은 하프톤 마스크를 마련하는 단계와; 마스터기판 상에 감광성막을 형성하는 단계와; 상기 하프톤 마스크를 사용하여 상기 감광성막을 노광하여 경화시키는 단계와; 상기 노광된 감광성막에 미경화영역을 식각하여 마스터몰드를 성하는 단계와; 상기 마스터몰드에 소프트몰드 재료를 도포하는 단계와; 상기 소프트몰드 재료를 경화하는 단계와; 상기 경화된 소프트몰드 재료를 마스터몰드에서 탈착시켜 소프트몰드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 소프트몰드에 의해 형성된 패턴의 신뢰성 있게 형성할 수 있어 소프트몰드의 간소한 패턴공정을 수행할 수 있게 된다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020050057547 (2005.06.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1165868-0000 (2012.07.09)
공개번호/일자 10-2007-0002171 (2007.01.05) 문서열기
공고번호/일자 (20120713) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.23)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이창희 대한민국 경기도 화성시 병점*로 **,
2 채기성 대한민국 인천광역시 연수구
3 조규철 대한민국 경기도 군포시 수리산로 ***, *
4 김진욱 대한민국 경기도 의왕시 원골로 **,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허용록 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 현죽빌딩)(선영특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0352503-30
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0405016-01
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0475182-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0818219-72
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0818220-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0185263-82
11 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.05.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2012-0023204-93
12 등록결정서
Decision to grant
2012.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0349766-37
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번호 청구항
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기판 상에 기저층을 형성하는 단계와; 상기 기저층 상에 합성수지층을 형성하는 단계와;상기 합성수지층에 소프트몰드를 접촉시키는 단계와;상기 합성수지층에 상기 소프트몰드의 패턴이 전사되는 단계와; 상기 소프트몰드의 패턴이 전사된 상기 합성수지층에서 상기 소프트몰드를 탈착시켜 합성수지패턴을 형성하는 단계와;상기 합성수지패턴 하부의 상기 기저층을 제외한 상기 기저층을 식각하는 단계와;상기 합성수지패턴을 탈착시켜 기저패턴을 형성하는 단계를 포함하며,상기 소프트 몰드는 제 1 패턴과, 상기 제 1 패턴보다 큰 폭 및 큰 크기를 가지며 상기 제 1 패턴의 형성영역과 다른 영역에 형성된 제 2 패턴을 구비하며, 상기 제 1 패턴은 상기 제 2 패턴보다 큰 깊이를 가지며 내부로 함몰되어 형성된 것을 특징으로 하는 소프트 패턴방법
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제 7항에 있어서,상기 합성수지층은 레진으로 형성되는 것을 특징으로 하는 소프트 패턴방법
9 9
제 7항에 있어서,상기 소프트몰드는 PDMS로 형성되는 것을 특징으로 하는 소프트 패턴방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.