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플라즈마 화학증착장치

  • 기술번호 : KST2015038297
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요약 본 발명에 따른 플라즈마 화학증착장치는 섀도우프레임과 서셉터의 오정렬에 의한 증착불량을 방지하기 위한 것으로, 반응가스가 충진된 챔버와, 상기 챔버에 장착된 디퓨저와, 상기 디퓨저와 대향하며 기판이 놓이는 서셉터와, 상기 서셉터 위에 위치하여 기판의 외곽영역을 차단하는 섀도우프레임으로 구성되며, 상기 섀도우프레임에는 얼라인볼이 형성되고 서셉터에는 얼라인홈이 형성되어 상기 얼라인볼이 얼라인홈에 삽입되어 섀도우프레임과 서셉터를 고정시키는 것을 특징으로 한다.플라즈마, 화학증착, 서셉터, 섀도우프레임, 얼라인볼, 얼라인홈
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01)
출원번호/일자 1020050058926 (2005.06.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1119780-0000 (2012.02.16)
공개번호/일자 10-2007-0003172 (2007.01.05) 문서열기
공고번호/일자 (20120323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.23)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이제훈 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0356795-37
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0404900-79
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0419272-25
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0759667-95
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0759665-04
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
9 등록결정서
Decision to grant
2011.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0766066-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반응가스가 충진된 챔버;상기 챔버에 장착된 디퓨저;상기 디퓨저와 대향하며 기판이 놓이는 서셉터;상기 서셉터 위에 위치하여 기판의 외곽영역을 차단하는 섀도우프레임;상기 섀도우프레임에 형성된 얼라인볼;상기 서셉터에 형성된 얼라인홈; 및상기 얼라인홈내에 설치되어 얼라인볼을 수납하여 섀도우프레임과 서셉터를 고정시키는 부싱으로 구성된 플라즈마 화학증착장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 얼라인볼은 섀도우프레임에 형성된 홈에 일부가 삽입 장착되고 일부가 섀도우프레임 밖으로 돌출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학증착장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 얼라인볼은 표면에서 360도 회전 가능한 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학증착장치
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 부싱내에서 복수의 롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학증착장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 롤러는 얼라인볼과 접촉하여 섀도우프레임과 서셉터를 얼라인시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학증착장치
7 7
제5항에 있어서, 상기 롤러는 얼라인볼과 접촉하여 섀도우프레임과 서셉터의 접촉 충격을 완화시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학증착장치
8 8
제1항에 있어서, 상기 서셉터를 상승시키는 가이드핀을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학증착장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.