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식각 공정이 진행되는 기판과,
상기 기판을 로딩 또는 언로딩하는 이송 로봇과,
상기 이송 로봇에 의해 로딩된 기판이 이송하는 이송트랙과,
상기 이송트랙을 통해 이송된 기판에 식각액을 분사하여 식각하는 식각실과,
상기 식각실에서 식각이 완료된 기판을 이송 받아 세정액을 분사하여 세정하는 세정실과,
상기 세정실에서 세정이 완료된 기판을 이송 받아 건조하는 건조실과,
상기 식각실과 세정실 사이에 구성되어 식각 공정이 완료된 기판 상부의 식각액 잔류량 또는 세정액의 잔류량을 검출하는 검출수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 습식 식각 장비
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제 1 항에 있어서, 상기 검출수단은 광 센서로 이루어짐을 특징으로 하는 습식 식각 장비
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제 2 항에 있어서, 상기 광 센서는 수광부와 발광부로 이루어짐을 특징으로 하는 습식 식각 장비
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식각 공정이 진행되는 기판과,
상기 기판을 로딩 또는 언로딩하는 이송 로봇과,
상기 이송 로봇에 의해 로딩된 기판이 이송하는 이송트랙과,
상기 이송트랙을 통해 이송된 기판에 다수개의 노즐 샤워를 통해 식각액을 분사하여 식각하는 식각실과,
상기 식각실에서 식각이 완료된 기판을 이송 받아 세정액을 분사하여 세정하는 세정실과,
상기 세정실에서 세정이 완료된 기판을 이송 받아 건조하는 건조실과,
상기 다수의 노즐 샤워에 더미 노즐 샤워를 추가로 구성하고, 상기 더미 노즐 샤워를 통해 분사되는 식각액과 상기 기판에 분사된 식각액을 수집하여 농도를 비교하는 농도 측정기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 습식 식각 장비
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삭제
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금속이 증착된 기판을 식각실로 로딩하는 단계;
상기 로딩된 기판에 식각액을 분사하여 금속을 선택적으로 식각하는 단계;
상기 식각 공정이 완료된 기판을 세정실로 이동하여 상기 기판에 세정액을 분사하여 세정하는 단계;
상기 식각실과 세정실 사이에 구성된 검출 수단을 이용하여 상기 식각실에서 유출되는 기판상에 잔류하는 식각액의 잔류량 또는 상기 세정실에서 유출되는 세정액의 잔류량을 검출하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 습식 식각 방법
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금속이 증착된 기판을 식각실로 로딩하는 단계;
상기 로딩된 기판에 다수개의 노즐 샤워를 통해 식각액을 분사하여 금속을 선택적으로 식각하는 단계;
상기 식각 공정이 완료된 기판을 세정실로 이동하여 상기 기판에 세정액을 분사하여 세정하는 단계;
상기 다수의 노즐 샤워에 추가로 구성된 더미 노즐 샤워를 통해 분사되는 식각액과 상기 기판에 분사된 식각액을 수집하여 농도를 비교하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 습식 식각 방법
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