맞춤기술찾기

이전대상기술

액정표시장치 제조 설비

  • 기술번호 : KST2015038379
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 액정표시장치 제조 설비가 제공된다. 본 발명의 일실시예에 따른 액정표시장치 제조 설비는, 다수의 포토 리소그라피 장치, 다수의 포토 리소그라피 장치에 제공하기 위한 포토 레지스트 용액을 저장하는 저장 탱크, 포토 리소그라피 장치와 저장 탱크 사이를 연결하도록 형성되어 포토 레지스트 용액을 저장 탱크로부터 포토 리소그라피 장치로 공급하는 공급 배관 및 공급 배관 상에 형성되어 공급 배관을 통해 공급되는 포토 레지스트 용액의 유량(流量)을 조절하는 조절 밸브를 포함한다. 액정표시장치, 포토 리소그라피, 포토 레지스트 용액, 중앙 공급
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70991(2013.01) G03F 7/70991(2013.01) G03F 7/70991(2013.01)
출원번호/일자 1020050058867 (2005.06.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1139530-0000 (2012.04.17)
공개번호/일자 10-2007-0003126 (2007.01.05) 문서열기
공고번호/일자 (20120502) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.28)
심사청구항수 2

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황재용 대한민국 경상북도 구미시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0356699-52
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0709525-87
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0413333-02
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0051034-52
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0363147-80
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0653238-69
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0653237-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
13 등록결정서
Decision to grant
2012.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0036398-86
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다수의 포토 리소그라피 장치;상기 다수의 포토 리소그라피 장치에 제공하기 위한 포토 레지스트 용액을 저장하는 저장 탱크;상기 포토 리소그라피 장치와 상기 저장 탱크 사이를 연결하도록 형성되어, 상기 포토 레지스트 용액을 상기 저장 탱크로부터 상기 포토 리소그라피 장치로 공급하는 공급 배관;상기 공급 배관을 세정하기 위한 세정액을 저장하는 세정액 탱크; 및상기 공급 배관 상에 형성되어 상기 공급 배관을 통해 공급되는 상기 포토 레지스트 용액과 상기 세정액의 유량(流量)을 조절하는 조절 밸브를 포함하고,상기 저장 탱크는 저장되는 포토 레지스트 용액의 종류에 따라 다수개 구비되며,상기 조절 밸브는 관리자에 의한 원격 제어가 가능한 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 설비
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 공급 배관은, 메인(main) 배관; 상기 다수의 저장 탱크 및 세정액 탱크와 상기 메인 배관 사이를 각각 연결하는 다수의 제 1 서브(sub) 배관; 및상기 메인 배관과 상기 다수의 포토 리소그라피 장치 사이를 각각 연결하는 다수의 제 2 서브 배관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 설비
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.