| 1 |
1
입력되는 광을 반사시키는 반사면이 형성된 박막과 상기 박막을 지지하는 프레임으로 이루어지는 미러 판; 상기 미러 판의 외곽에 상기 미러 판과 동일한 무게 중심을 가지며, 상기 미러 판과 상호 이격되어 형성된 외부 프레임; 상기 미러 판과 외부 프레임을 연결하는 복수개의 연결부; 및 상기 외부 프레임을 지지부와 연결하여 상기 미러 판과 외부 프레임을 하부로부터 부상시키며, 상호 대칭적으로 형성된 탄성 굴신 구조물;을 포함하여 이루어지는 마이크로 미러 디바이스
|
| 2 |
2
입력되는 광을 반사시키는 반사면이 형성된 박막과 상기 박막을 지지하는 프레임으로 이루어지는 미러 판; 상기 미러 판의 외곽에 상기 미러 판과 동일한 무게 중심을 가지며, 상기 미러 판과 상호 이격되어 형성된 외부 프레임; 상기 미러 판과 외부 프레임을 연결하는 복수개의 연결부; 상기 외부 프레임의 외곽에 상기 미러 판과 동일한 무게 중심을 가지며, 상기 외부 프레임과 상호 이격되어 형성된 짐벌(gimbal); 상기 짐벌을 상기 외부 프레임과 연결하며, 상호 대칭적으로 형성된 내부 탄성 굴신 구조물; 및 상기 짐벌을 지지부와 연결하여 상기 미러 판, 외부 프레임 및 짐벌을 하부로부터 부상시키며, 상기 내부 탄성 굴신 구조물과 수직선상에 상호 대칭적으로 형성된 외부 탄성 굴신 구조물;을 포함하여 이루어지는 마이크로 미러 디바이스
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 미러 판은 원형 또는 타원형의 형상을 가지며, 상기 외부 프레임은 링(ring)의 형상을 가진 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 4 |
4
제2항에 있어서, 상기 미러 판은 원형 또는 타원형의 형상을 가지며, 상기 외부 프레임 및 짐벌은 링(ring)의 형상을 가진 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 탄성 굴신 구조물은 비틀림 보(torsion beam), 외팔보(cantilever), V 자형 빔(V-shaped beam), 미앤더(meander) 중에서 어느 하나의 형태로 이루어지거나 이들을 조합한 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 6 |
6
제2항에 있어서, 상기 외부 탄성 굴신 구조물은 비틀림 보(torsion beam), 외팔보(cantilever), V 자형 빔(V-shaped beam), 미앤더(meander) 중에서 어느 하나의 형태로 이루어지거나 이들을 조합한 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 7 |
7
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 반사면은 금속, 유전체 또는 금속과 유전체의 적층 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 8 |
8
제1항에 있어서, 상기 미러 판과 외부 프레임을 연결하는 복수개의 연결부는; 상기 탄성 굴신 구조물과 동일한 선상에 상호 대칭적으로 형성된 제1 연결부와, 상기 탄성 굴신 구조물과 수직한 선상에 상호 대칭적으로 형성된 제2 연결부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 9 |
9
제2항에 있어서, 상기 미러 판과 외부 프레임을 연결하는 복수개의 연결부는; 상기 내부 탄성 굴신 구조물과 동일한 선상에 상호 대칭적으로 형성된 제1 연결부와, 상기 내부 탄성 굴신 구조물과 수직한 선상에 상호 대칭적으로 형성된 제2 연결부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 10 |
10
제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 제2 연결부는 상기 수직한 선상을 중심으로 대칭적으로 형성되는 2개의 연결부로 이루어져서 상기 미러 판과 상기 외부 프레임 간에 일정한 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 11 |
11
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프레임은 상기 프레임의 중심에서 멀어질수록 두께가 얇아지는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 12 |
12
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프레임은 일부가 대칭적으로 제거되어 어레이(array) 된 톱니의 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 13 |
13
제12항에 있어서, 상기 프레임은 상기 톱니 형상을 이루는 영역에 복수개의 홈을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 14 |
14
제1항에 있어서, 상기 미러 판을 전자기력으로 구동시키기 위해; 상기 상호 대칭적으로 형성된 탄성 굴신 구조물 중 일측의 탄성 굴신 구조물 상에 형성되어, 상기 외부 프레임 상에서 분기되었다가 타측의 탄성 굴신 구조물 상에서 다시 합해지는 도선과; 상기 도선과 전기적으로 연결되며, 상기 지지부 상에 상호 대칭적으로 형성되는 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 15 |
15
제1항에 있어서, 상기 미러 판을 정전력으로 구동시키기 위해; 상기 탄성 굴신 구조물과 수직선상에 있는 상기 외부 프레임 부분에 상호 대칭적으로 형성되는 제1 빗살 모양 전극과; 상기 제1 빗살 모양 전극 하부에 상기 외부 프레임이 부상되어 있는 거리 간격을 두고, 상기 제1 빗살 모양 전극과 맞물리도록 형성되는 제2 빗살 모양 전극;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 디바이스
|
| 16 |
16
입력되는 광을 반사시키는 반사면이 형성된 박막과 상기 박막을 지지하는 프레임으로 이루어지는 미러 판; 상기 미러 판의 외곽에 상기 미러 판과 동일한 무게 중심을 가지며, 상기 미러 판과 상호 이격되어 형성된 외부 프레임; 상기 미러 판과 외부 프레임을 연결하는 복수개의 연결부; 및 상기 외부 프레임을 지지부와 연결하여 상기 미러 판과 외부 프레임을 하부로부터 부상시키며, 상호 대칭적으로 형성된 탄성 굴신 구조물;을 포함하여 이루어지는 마이크로 미러 디바이스가 기판상에 M개의 행과 N개의 열로 구성되어 이루어지는 마이크로 미러 디바이스 어레이
|
| 17 |
17
입력되는 광을 반사시키는 반사면이 형성된 박막과 상기 박막을 지지하는 프레임으로 이루어지는 미러 판; 상기 미러 판의 외곽에 상기 미러 판과 동일한 무게 중심을 가지며, 상기 미러 판과 상호 이격되어 형성된 외부 프레임; 상기 미러 판과 외부 프레임을 연결하는 복수개의 연결부; 상기 외부 프레임의 외곽에 상기 미러 판과 동일한 무게 중심을 가지며, 상기 외부 프레임과 상호 이격되어 형성된 짐벌(gimbal); 상기 짐벌을 상기 외부 프레임과 연결하며, 상호 대칭적으로 형성된 내부 탄성 굴신 구조물; 및 상기 짐벌을 지지부와 연결하여 상기 미러 판, 외부 프레임 및 짐벌을 하부로부터 부상시키며, 상기 내부 탄성 굴신 구조물과 수직선상에 상호 대칭적으로 형성된 외부 탄성 굴신 구조물;을 포함하여 이루어지는 마이크로 미러 디바이스가 기판상에 M개의 행과 N개의 열로 구성되어 이루어지는 마이크로 미러 디바이스 어레이
|
