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상부의 일부 영역이 식각되어 캐비티(cavity)가 형성된 것으로, 빛을 통과시키기 위한 관통구멍이 상기 캐비티의 바닥면 중앙에 형성된 실리콘 구조물과; 상기 캐비티의 대향하는 양쪽 측면에 경사지도록 형성된 반사면과; 상기 반사면으로 빛을 출사시키도록 상기 캐비티의 바닥면에 위치한 적색 및 청색 레이저 다이오드와; 상기 적색 및 청색 레이저 다이오드와 반사면 사이에 구비되어 상기 적색 및 청색 레이저 다이오드로부터 출사되는 상하 방향의 레이저 빛을 집속시키는 원통형 렌즈로 이루어진 레이저 디스플레이 광원용 실리콘 광학 벤치
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제1항에 있어서, 상기 캐비티가 형성된 일부 영역은 실리콘 구조물의 상부 영역 중 테두리 부분을 제외한 테두리 내부 영역인 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원용 실리콘 광학 벤치
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제1항에 있어서, 상기 캐비티는 사다리꼴 모양이거나 직사각형 모양의 단면형상인 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원용 실리콘 광학 벤치
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제1항에 있어서, 상기 반사면은 실리콘 구조물의 상부에 대해서 54
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제1항에 있어서, 상기 적색 및 청색 레이저 다이오드는 각각 상기 대향하는 반사면으로 빛을 출사하도록 레이저 광을 출사하는 절단면 발진부가 반사면 쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원용 실리콘 광학 벤치
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제1항에 있어서, 상기 실리콘 구조물은 상기 원통형 렌즈가 수동 정렬되어 조립되도록 상기 캐비티의 바닥면 양쪽에 V자 형태 또는 트렌치(trench) 형태인 조립 정렬 홈을 가진 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원용 실리콘 광학 벤치
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7
제1항에 있어서, 상기 관통구멍은 적색 및 청색 레이저 다이오드 사이에 위치하여 상기 적색 및 청색 레이저 다이오드와 일렬로 배열되는 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원용 실리콘 광학 벤치
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8
제1항에 있어서, 상기 관통구멍 하부에서 녹색 파장의 빛을 집속하기 위한 반구 형태의 포커스렌즈(focus lens)가 상기 실리콘 구조물 하부에 더 포함된 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원용 실리콘 광학 벤치
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9
상부의 일부 영역이 식각되어 캐비티(cavity)가 형성된 것으로, 빛을 통과시키기 위한 관통구멍이 상기 캐비티의 바닥면 중앙에 형성된 실리콘 구조물과; 상기 캐비티의 대향하는 양쪽 측면에 경사지도록 형성된 반사면과; 상기 반사면으로 빛을 출사시키도록 상기 캐비티의 바닥면에 위치한 적색 및 청색 레이저 다이오드와; 상기 적색 및 청색 레이저 다이오드와 반사면 사이에 구비되어 상기 적색 및 청색 레이저 다이오드로부터 출사되는 상하 방향의 레이저 빛을 집속시키는 원통형 렌즈로 이루어진 레이저 디스플레이 광원용 실리콘 광학 벤치(SiOB)와; 상기 실리콘 구조물에 형성된 관통구멍으로 녹색 파장의 빛을 발산시키는 녹색 레이저 발광 소자 패키지;를 포함하는 레이저 디스플레이 광원
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10
제9항에 있어서, 상기 녹색 레이저 발광 소자 패키지는 이차 매질이 포함되어 있는 투캔(TO can) 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원
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제9항에 있어서, 상기 녹색 레이저 발광 소자 패키지로부터 발산되는 녹색 파장의 빛을 변조하기 위한 광 변조 모듈(modulator)이 더 포함된 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원
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12
제9항에 있어서, 상기 반사면으로부터 반사되는 적색 및 청색 파장의 빛과 상기 관통구멍으로부터 방출되는 녹색 파장의 빛을 하나로 결합시키는 광섬유(optical fiber)가 더 포함된 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원
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제12항에 있어서, 상기 광섬유에서 방출되는 빛을 주사 시스템(scan system)으로 전달하기 전에 평행 광으로 만들어 주는 시준 렌즈(collimation lens)가 더 포함된 것을 특징으로 하는 레이저 디스플레이 광원
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