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금속배선의 제조 방법, 이를 이용해 형성된 평판 표시장치 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015039620
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요약 본 발명의 금속 배선의 제조 방법에 관한 것으로서, 상기 제조 방법은 제 1 영역과 제 2 영역으로 정의된 기판을 제공하는 단계; 상기 기판 전면에 걸쳐 자기조립 단분자층을 형성하는 단계; 상기 제 2 영역에 형성된 자기조립 단분자층에 UV광을 조사하는 단계; 상기 기판 전면에 걸쳐 금속 나노파우더가 분산된 분산액을 도포하는 단계; 및 상기 기판에 형성된 분산액을 소결하는 단계를 포함한다. 또한, 이를 통한 평판 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공함에 따라, 생산 효율을 향상시킬 수 있다. 금속 배선, 나노파우더, 자기조립 단분자층, 친수성, UV, 평판표시장치
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) G02F 1/136 (2006.01)
CPC G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01)
출원번호/일자 1020050090416 (2005.09.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1211216-0000 (2012.12.05)
공개번호/일자 10-2007-0035702 (2007.04.02) 문서열기
공고번호/일자 (20121211) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.09.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박미경 대한민국 경기 안양시 동안구
2 채기성 대한민국 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허용록 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 현죽빌딩)(선영특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0545873-89
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0613911-17
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.01.16 수리 (Accepted) 9-1-2012-0002817-92
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0052872-92
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0239238-04
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0239239-49
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0458551-52
13 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.09.06 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2012-0041875-19
14 등록결정서
Decision to grant
2012.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0609256-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 영역과 제 2 영역으로 정의된 기판을 제공하는 단계;상기 기판 전면에 걸쳐 실란계 유도체인 페닐트리클로로실란(phenyltrichlorosilane)으로 소수성 자기조립 단분자층을 형성하는 단계;상기 제 2 영역에 형성된 자기조립 단분자층상에 UV광을 조사하여, 상기 제 1 영역은 소수성 영역으로, 상기 제 2 영역은 친수성 영역으로 형성하는 단계;상기 기판 전면에 걸쳐 금속 나노파우더가 분산된 분산액을 도포하는 단계; 및상기 기판에 형성된 상기 분산액을 소결하는 단계;를 포함하고,상기 분산액은 상기 금속 나노파우더를 분산하는 용매와, 상기 금속 나노파우더를 고정하는 폴리머와, 상기 금속 나노파우더의 응집을 방지하는 분산제를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 배선의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 분산액은 친수성 용매를 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 금속 배선의 제조 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 금속배선은 제 2 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 배선의 제조 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 분산액은 소수성 용매를 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 금속 배선의 제조 방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 금속 배선은 상기 제 1 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 배선의 제조 방법
9 9
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10 10
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11 11
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기판을 제공하는 단계;상기 기판 상에 실란계 유도체인 페닐트리클로로실란(phenyltrichlorosilane)으로 소수성 자기조립 단분자층을 형성하는 단계;상기 자기조립 단분자층의 일정한 영역에 UV광을 조사하여, UV광이 조사되지 않은 영역은 소수성 영역으로, UV광이 조사된 영역은 친수성 영역으로 형성하는 단계;상기 자기조립 단분자층상에 금속 나노파우더가 분산된 분산액을 도포하는 단계; 상기 도포된 분산액을 소결하여 상기 금속 나노파우더로 이루어진 게이트 배선 및 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 배선 및 게이트 전극상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 전극과 대응되는 상기 게이트 절연막 상에 액티브층 및 소스/드레인 전극을 형성하는 단계;상기 소스/드레인 전극을 포함하는 기판 전면에 걸쳐 위치하며, 상기 드레인 전극의 일부분을 노출하는 콘텍홀을 구비하는 보호막을 형성하는 단계; 및상기 보호막 상에 위치하고, 상기 콘텍홀을 통하여 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결된 화소전극을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 분산액은 상기 금속 나노파우더를 분산하는 용매와, 상기 금속 나노파우더를 고정하는 폴리머와, 상기 금속 나노파우더의 응집을 방지하는 분산제를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법
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제 12항에 있어서,상기 평판 표시 장치는 액정 표시 장치 또는 유기 전계 발광 표시 장치인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.