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기판에 도포된 패턴재료에 광을 조사하여 패턴을 형성함에 있어서,상기 패턴재료가 패터닝되기 위해 필요한 역치광량보다 작은 광량을 기판 전체에 조사하는 일괄조사단계와,상기 패턴의 형상에 맞게 선택적으로 광을 조사하여 패터닝에 필요한 나머지 광량을 제공하는 선택조사단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 노광방법
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제 1 항에 있어서, 역치광량보다 작은 광량을 기판 전체에 조사하는 일괄조사단계에서는 기판 전체에 일괄적으로 동일한 양의 광을 조사함을 특징으로 하는 노광방법
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제 1 항에 있어서, 역치광량보다 작은 광량을 기판 전체에 조사하는 일괄조사단계에서는 기판 전체에 스캔방식으로 동일한 양의 광을 조사함을 특징으로 하는 노광방법
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제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 패터닝에 필요한 나머지 광량을 조사하는 선택조사단계에서는 전자장치를 사용하여 광을 선택적으로 기판상에 조사함을 특징으로 하는 노광방법
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제 4 항에 있어서, 상기 일괄조사단계와 선택조사단계는 동시에 진행되거나, 어느 하나의 단계가 먼저 진행되고 다른 하나의 단계가 진행됨을 특징으로 하는 노광방법
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6
테이블상에 안착된 기판 전체에 패터닝에 필요한 역치광량보다 작은 동일한 양의 광을 조사하는 제1노광유니트와,상기 테이블상에 안착된 기판에 패터닝에 필요한 나머지 광량을 패턴 형상에 맞게 선택적으로 제공하는 제2노광유니트를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 노광장치
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제 6 항에 있어서, 상기 제1노광유니트는 그 노광영역 전체에 동일한 양의 광을 일괄적으로 조사하고, 상기 제2노광유니트는 전자장치를 사용하여 광을 선택적으로 기판에 조사함을 특징으로 하는 노광장치
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제 7 항에 있어서, 상기 전자장치는 디이엠디이(DMD)나 엘시이디이(LCD)중 어느 하나가 사용됨을 특징으로 하는 노광장치
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제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1노광유니트와 제2노광유니트는 동시에 광을 조사하거나, 제1노광유니트와 제2노광유니트중 어느 일측이 먼저 광을 조사하고 다른 일측이 나중에 광을 조사함을 특징으로 하는 노광장치
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