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전자장치를 사용하여 광원의 광을 선택적으로 반사시켜 패널의 표면에 패턴을 형성하기 위한 노광을 수행하는 마스크리스 노광기에 있어서,패널전체의 패턴정보를 검출하는 단계와,상기 검출된 패턴정보를 사용하여 패턴의 형상이 일정한 반복구간과 패턴의 형상이 일정치 않은 구간을 찾아내는 단계와,상기 반복구간을 제외한 구간에서 하나의 노광영역의 각각의 위치에서 마다 패턴정보를 획득하고 상기 반복구간에서는 하나의 패턴정보를 획득하는 단계를 포함하여 구성되고,상기 반복구간중 패턴의 형상이 달라지는 부분이 있는 구간을 변이구간이라고 하고, 상기 변이구간에서는 각각 한피치씩 이동된 노광영역마다에서 패턴정보가 획득됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기용 패턴정보생성방법
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제 1 항에 있어서, 상기 패턴이 시작되는 구간과 패턴이 종료되는 구간을 각각 시작구간과 종료구간으로 하고, 이들 구간에서는 각각 한 피치씩 이동된 하나의 노광영역마다에서 패턴정보가 획득됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기용 패턴정보생성방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 전자장치는 디이엠디이(DMD)나 엘씨이디이(LCD)중 어느 하나가 사용됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기용 패턴정보생성방법
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패널에 형성될 패턴을 시작구간, 반복구간, 변이구간 및 종료구간으로 구분하고, 시작구간, 변이구간 및 종료구간에서 각각 한 피치만큼 씩 이동된 노광영역마다 패턴정보를 획득하고, 반복구간에서는 하나의 패턴정보를 획득하는 단계와,상기 획득된 각각의 위치에서의 패턴정보를 사용하여 시작구간, 변이구간 및 종료구간을 노광하고, 상기 획득된 하나의 패턴정보를 사용하여 반복구간을 노광하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기용 노광방법
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제 5 항에 있어서, 상기 노광하는 단계는 시작구간에서 종료구간, 종료구간에서 시작구간의 순서로 다수회 반복하여 수행됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기용 노광방법
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