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기판 반송 장치 및 기판 반송 방법

기술번호 : KST2015040109
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 할 수 있도록 한 기판 반송 장치 및 방법에 관한 것으로서, 일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트와, 상기 카세트에 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 동시에 수행하는 기판 이재용 로봇을 구비하는 것을 특징으로 한다.기판, 카세트, 로봇, 암, 로딩/언로딩
Int. CL	H01L 21/68 (2006.01)
CPC	H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01)
출원번호/일자	1020050097485 (2005.10.17)
출원인	엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자	10-1254619-0000 (2013.04.09)
공개번호/일자	10-2007-0041883 (2007.04.20) 문서열기
공고번호/일자	(20130415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항	심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2010.09.29)
심사청구항수	7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	우용태	대한민국	경기도 파주시 송화로 **,

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	심창섭	대한민국	서울특별시 송파구 올림픽로 *, 현대빌딩 층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2	김용인	대한민국	서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사		서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2005.10.17	수리 (Accepted)	1-1-2005-0584774-15
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2010.09.29	수리 (Accepted)	1-1-2010-0626176-69
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
7	선행기술조사의뢰서(내부) Request for Prior Art Search (Inside)	2012.04.03	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
8	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2012.04.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2012-0003138-38
9	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2012.07.03	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0385795-95
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2012.08.31	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2012-0705205-51
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2012.08.31	수리 (Accepted)	1-1-2012-0705206-07
12	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2013.01.17	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0034800-38
13	명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination)	2013.02.15	보정승인 (Acceptance of amendment)	7-1-2013-0005880-49
14	등록결정서 Decision to grant	2013.04.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0220281-05

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트와,상기 카세트에 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 수행하는 기판 이재용 로봇을 구비하며, 상기 기판 이재용 로봇은 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키는 제 1 로봇 암부, 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키는 제 2 로봇 암부, 및 상기 제 1 및 제 2 로봇 암부를 구동시키는 구동부를 구비하고, 상기 제 1 로봇 암부와 상기 제 2 로봇 암부는 상기 구동부 상에 수직 방향으로 서로 평행하게 분리 배치되어, 상기 카세트 내에서 수직 방향으로 적어도 2 슬롯 떨어져 있는 2개의 기판들을 각각 로딩 또는 언로딩시키며, 상기 제 2 로봇 암부는 상기 제 1 로봇 암부와 반대로 상기 기판을 언로딩(또는 로딩) 시키거나 상기 제 1 로봇 암부와 동시에 상기 기판을 로딩(또는 언로딩) 시키고, 상기 구동부는 상기 제 1 구동축에 연결된 제 1 리프터와, 상기 제 2 구동축에 연결된 제 2 리프터와, 상기 제 1 리프터 및 제 2 리프터 각각에 연결된 체인과, 상기 체인에 치합되도록 걸쳐지는 스프로켓과, 그리고 상기 제 1 리프터와 상기 제 2 리프터간에 설치되어 상기 제 1 리프터와 상기 제 2 리프터를 서로 다른 수직 방향으로 구동시키는 래크와 피니언을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치
2	2 삭제
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 기판 이재용 로봇은 상기 카세트 내에서 인접한 슬롯에 있는 2개의 기판 또는 동일 슬롯에 있는 하나의 기판을 상기 로딩 또는 언로딩시킬 경우 상기 로딩 및 언로딩을 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치
4	4 삭제
5	5 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 로봇 암부는 상기 기판의 로딩 또는 언로딩을 위한 제 1 포크와, 상기 제 1 포크를 수평방향으로 이동시키기 위한 제 1 암과, 상기 제 1 암에 수직방향으로 연결되어 상기 구동부의 구동에 의해 제 1 암을 수직방향으로 구동시키는 제 1 구동축을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치
6	6 제 5 항에 있어서, 상기 제 2 로봇 암부는 상기 기판의 로딩 또는 언로딩을 위한 제 2 포크와, 상기 제 2 포크를 수평방향으로 이동시키기 위한 제 2 암과, 상기 제 2 암에 수직방향으로 연결되어 상기 구동부의 구동에 의해 제 2 암을 수직방향으로 구동시키는 제 2 구동축을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치
7	7 삭제
8	8 삭제
9	9 일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트를 마련하는 단계와,상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키는 제 1 로봇 암부, 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키는 제 2 로봇 암부, 및 상기 제 1 및 제 2 로봇 암부를 구동시키는 구동부를 구비한 기판 이재용 로봇을 이용하여 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 수행하는 단계를 포함하며, 상기 기판의 로딩 또는 언로딩 단계는 상기 구동부 상에 수직 방향으로 서로 평행하게 분리되어 배치된 상기 제 1 로봇 암부와 상기 제 2 로봇 암부를 이용하여 상기 카세트 내에서 수직 방향으로 적어도 2 슬롯 떨어져 있는 2개의 기판들을 각각 로딩 또는 언로딩시키고, 상기 기판의 로딩 또는 언로딩 단계에서 상기 제 2 로봇 암부는 상기 제 1 로봇 암부와 반대로 상기 기판을 언로딩(또는 로딩) 시키거나 상기 제 1 로봇 암부와 동시에 상기 기판을 로딩(또는 언로딩) 시키며, 상기 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행하는 단계는 상기 기판을 상기 카세트에 로딩(또는 언로딩)시키기 위한 제 1 포크와 상기 제 1 포크와 반대로 상기 기판을 상기 카세트에 언로딩(또는 로딩)시키는 제 2 포크 중 어느 하나에 상기 기판을 안착시키는 단계와, 상기 제 1 및 제 2 포크의 위치를 서로 반대되는 방향으로 구동하는 단계와, 상기 제 1 및 제 2 포크를 전진시켜 상기 카세트에 삽입시키는 단계와, 상기 기판이 안착된 상기 제 1 및 제 2 포크 중 어느 하나의 포크를 하강시켜 상기 기판을 상기 카세트에 로딩시킴과 동시에 다른 하나의 포크를 상승시켜 상기 카세트에 수납된 상기 기판을 언로딩시키기 위한 상기 다른 하나의 포크에 안착시키는 단계와,상기 제 1 및 제 2 포크를 후진시켜 상기 기판의 로딩을 완료함과 동시에 상기 기판의 언로딩을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법
10	10 삭제
11	11 삭제
12	12 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 포크의 위치는 2개의 래크와 상기 2개의 래크 사이에 접속된 피니언에 의해 서로 반대되는 방향으로 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법
13	13 제 9 항에 있어서, 상기 카세트 내에서 인접한 슬롯에 있는 2개의 기판 또는 동일 슬롯에 있는 하나의 기판을 상기 로딩 또는 언로딩시킬 경우 상기 로딩 및 언로딩을 순차적으로 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1254619-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20051017 출원 번호 : 1020050097485 공고 연월일 : 20130415 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130401 청구범위의 항수 : 7 유별 : H01L 21/68 발명의 명칭 : 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	318,000 원	2013년 04월 10일	납입
제 4 년분	금 액	194,000 원	2016년 03월 29일	납입
제 5 년분	금 액	194,000 원	2017년 03월 20일	납입
제 6 년분	금 액	194,000 원	2018년 03월 15일	납입
제 7 년분	금 액	366,000 원	2019년 03월 18일	납입

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2005.10.17	수리 (Accepted)	1-1-2005-0584774-15
2	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2010.09.29	수리 (Accepted)	1-1-2010-0626176-69
4	출원인정보변경(경정)신고서	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
5	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
6	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
7	선행기술조사의뢰서(내부)	2012.04.03	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
8	선행기술조사보고서	2012.04.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2012-0003138-38
9	의견제출통지서	2012.07.03	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0385795-95
10	[명세서등 보정]보정서	2012.08.31	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2012-0705205-51
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2012.08.31	수리 (Accepted)	1-1-2012-0705206-07
12	거절결정서	2013.01.17	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0034800-38
13	명세서 등 보정서(심사전치)	2013.02.15	보정승인 (Acceptance of amendment)	7-1-2013-0005880-49
14	등록결정서	2013.04.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0220281-05


기술번호	KST2015040109
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	기판 반송 장치 및 기판 반송 방법
기술개요	본 발명은 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 할 수 있도록 한 기판 반송 장치 및 방법에 관한 것으로서, 일정한 간격으로 복수의 슬롯이 구성되고 상기 슬롯 각각에 기판을 수납하는 카세트와, 상기 카세트에 상기 기판을 수납하는 로딩과 상기 카세트에서 상기 기판을 외부로 반출하는 언로딩을 동시에 수행하는 기판 이재용 로봇을 구비하는 것을 특징으로 한다.기판, 카세트, 로봇, 암, 로딩/언로딩
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
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번호	심판번호(숫자)	심판번호(문자)	사건의표시	청구일	심결일자
1	2013101001118	2013원1118	2005년 특허출원 제0097485호 거절결정불복	2013.02.15	2013.04.01

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