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마스크리스 노광기장치 및 그 정렬방법

  • 기술번호 : KST2015040219
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요약 본 발명은 마스크리스 노광장치 및 그 정렬방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 마스크리스 노광장치는 이동이 가능하고 상면에 패널(22)이 안착될 수 있는 스테이지(20)와, 상기 스테이지(20)의 상면에 구비되는 정렬격자(24)와, 상기 스테이지(20) 상에 안착된 패널(22)에 패턴을 형성하기 위한 패턴형성광(28)을 선택적으로 제공하는 것으로 상기 정렬격자(24)로 광을 조사하는 전자유니트(26)를 포함하여 구성된다. 상기 전자유니트(26)는 디이엠디이(DMD)나 엘씨디(LCD)를 사용하여 패턴형성광(28)을 선택적으로 조사한다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 마스크리스 노광장치 및 그 정렬방법에 의하면 패턴형상의 광을 조사하는 전자유니트와 패널 사이의 정렬이 신속하고 정확하게 되어 패널의 패턴 형성작업성이 좋아지고, 전자유니트의 스캔속도와 패널의 이동속도를 정확하게 맞출 수 있어 패턴이 정확하게 패널에 형성되어 생산수율이 높아지는 이점이 있다.마스크리스 노광기, 디이엠디이, 패턴, 정렬
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020050105039 (2005.11.03)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1161882-0000 (2012.06.26)
공개번호/일자 10-2007-0048052 (2007.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20120703) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.03)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강신호 대한민국 경기도 오산시 궐리사로*

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인우린 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 ***, *층 (역삼동, 정호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0634050-96
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0717975-34
6 보정요구서
Request for Amendment
2010.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0100879-48
7 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2010.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0735619-17
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2011-0064455-64
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0562999-19
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0937356-21
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0937355-86
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0757318-76
14 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.02.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2012-0007283-14
15 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.02.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2012-0007568-10
16 등록결정서
Decision to grant
2012.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0173554-37
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이동이 가능하고 상면에 패널이 안착될 수 있는 스테이지와,상기 스테이지의 상면에 구비되는 정렬격자와,상기 스테이지 상에 안착된 패널에 패턴을 형성하기 위한 패턴형성광을 선택적으로 제공하는 것으로 상기 정렬격자로 광을 조사하는 전자유니트를 포함하여 구성되고,상기 정렬격자에서 그 단위격자의 크기는 상기 전자유니트에서 나오는 패턴형성광의 단위광의 크기와 같거나, 어느 일측이 타측의 정수배가 되도록 됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 정렬격자는 사각형상으로 형성됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 전자유니트는 디이엠디이(DMD)나 엘씨디(LCD)를 사용하여 패턴형성광을 선택적으로 조사함을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 전자유니트는, 그 자체의 광원에서 나오는 광을 광학계와 상기 디이엠디이를 통해 선택적으로 스테이지 상에 안착된 패널에 제공함을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치
5 5
상면에 정렬격자가 형성되고 패널이 안착될 수 있는 스테이지 상에 전자유니트에서 선택적으로 제공되는 패턴형성광을 조사하는 마스크리스 노광장치에 있어서,스테이지와 전자유니트가 상대이동되지 않는 상태에서, 상기 패턴형성광이 상기 정렬격자 내에 안착되고,상기 스테이지와 전자유니트가 상대이동되는 상태에서 상기 패턴형성광이 전자유니트에서 이동되는 속도와 전자유니트에 대해 스테이지가 상대이동되는 속도를 맞춤에 있어, 상기 패턴형성광이 정해진 시간동안 상기 정렬격자의 단위격자에 머무르다 인접하는 단위격자로 이동하는 과정을 반복하며,상기 정렬격자에서 그 단위격자의 크기는 상기 전자유니트에서 나오는 패턴형성광의 단위광의 크기와 같거나, 어느 일측이 타측의 정수배가 되도록 함을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치의 정렬방법
6 6
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7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.