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기판 상에 소정 패턴의 마스크층을 형성하는 공정;상기 소정 패턴의 마스크층을 이용하여 상기 기판에 트렌치를 형성하는 공정;상기 기판의 트렌치가 형성된 영역 상에 네가티브 포토레지스트를 도포하는 공정;상기 기판의 전면에 광을 조사하는 공정;상기 트렌치 이외의 영역에 위치하도록, 상기 마스크층이 형성된 기판 상에 소정 패턴의 포지티브 포토레지스트층을 형성하는 공정;상기 마스크층 중 포지티브 포토레지스트층에 의해 도포되지 아니한 부분을 식각하는 공정;상기 네가티브 포토레지스트를 현상하는 공정;상기 기판을 양극산화피막처리하는 공정; 및상기 포지티브 포토레지스트층, 마스크층, 네가티브 포토레지스트를 제거하는 공정으로 이루어진 인쇄판 제작방법
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제1항에 있어서,상기 기판은알루미늄(Al) 또는 그 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄판 제작방법
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제1항에 있어서,기판 상에 소정 패턴의 마스크층을 형성하는 공정은크롬(Cr) 또는 티타늄(Ti)을 이용하여 마스크층을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄판 제작방법
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제1항에 있어서,기판 상에 소정 패턴의 마스크층을 형성하는 공정은상기 기판 상에 상기 마스크층을 구성하는 물질을 도포하는 공정;상기 마스크층 상에 포토레지스트층을 형성하는 공정;노광 및 현상공정을 이용하여 상기 포토레지스트층을 소정 형상으로 패터닝하는 공정;상기 소정 패턴의 포토레지스트층을 마스크로 하여 마스크층 중 소정 부분를 식각하는 공정; 및상기 소정 패턴의 포토레지스트층을 제거하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄판 제작방법
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제1항에 있어서,상기 소정 패턴의 마스크층을 이용하여 상기 기판에 트렌치를 형성하는 공정은인산, 질산, 초산 및 물을 혼합한 식각액을 이용하여 기판을 식각하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄판 제작방법
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제1항에 있어서,상기 기판의 트렌치가 형성된 영역 상에 네가티브 포토레지스트를 도포하는 공정은상기 마스크층 상에까지 네가티브 포토레지스트를 도포하는 공정; 및닥터 블레이드를 이용하여 마스크층 상에 도포된 네가티브 포토레지스트를 제거하는 공정을 추가로 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄판 제작방법
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트렌치가 형성된 기판; 및상기 트렌치의 양 가장자리에 형성된 구조물을 포함하여 구성되고,이 때, 상기 구조물은, 상기 트렌치의 양 가장자리와 접하지 않는 일측면이 상기 기판면에 대해 수직으로 형성되며;상기 구조물은 산화피막으로 구성된 것을 특징으로 하는 인쇄판
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제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정;상기 차광층을 포함하는 제1기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정;제2기판을 준비하는 공정; 및상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지며,상기 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은, 상기 제7항에 의한 인쇄판을 이용하여 패턴을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제작방법
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제9항에 있어서,상기 제7항에 의한 인쇄판을 이용하여 패턴을 형성하는 공정은차광물질 또는 컬러필터물질을 인쇄롤에 도포하는 공정;상기 제7항에 의한 인쇄판 상에서, 상기 차광물질 또는 컬러필터물질이 도포된 인쇄롤을 회전시켜, 일부 차광물질 또는 컬러필터물질을 인쇄판 상에 전사하는 공정; 및상기 제1기판 상에서, 상기 인쇄롤을 회전시켜, 인쇄롤에 잔존하는 차광물질 또는 컬러필터물질을 기판 상에 전사하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제작방법
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제9항에 있어서,상기 제2기판을 준비하는 공정은,상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제작방법
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제9항에 있어서,상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구 없는 씨일재를 형성하고,상기 씨일재가 형성된 기판에 액정을 적하한 후, 양 기판을 합착하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제작방법
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제9항에 있어서,상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정은상기 제1기판 또는 제2기판 중 어느 하나의 기판에 주입구가 형성되도록 씨일 형성하고,양 기판을 합착한 후, 상기 액정 주입구에 액정을 주입하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제작방법
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