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ＣＭＰ 슬러리용 보조제
- 기술번호 : KST2015040615
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 본 발명은 a) 중량평균분자량이 1,000 내지 20,000이고 주쇄 및 측쇄로 구성된 그라프트 형태(graft-type)의 중합체산; 및 b) 염기성 물질로 이루어진 중합체산 염을 포함하며, 양전하를 띠는 재료의 구조물과 음전하를 띠는 재료의 구조물을 동시에 연마시 양전하를 띠는 재료의 구조물에 흡착하여 음전하를 띠는 재료의 구조물에 대한 연마 선택성을 높이는 보조제, 및 상기 보조제와 연마입자를 함유하는 CMP 슬러리를 제공한다.화학적 기계적 연마, CMP 슬러리, 얕은 트랜치 소자 분리 |
|---|---|
| Int. CL | C09K 3/14 (2006.01) C09K 3/18 (2006.01) |
| CPC | C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020050113758 (2005.11.25) |
| 출원인 | 주식회사 엘지화학 |
| 등록번호/일자 | 10-0786950-0000 (2007.12.11) |
| 공개번호/일자 | 10-2006-0076190 (2006.07.04) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20071217) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020040114824 | 2004.12.29
|
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2005.12.30) |
| 심사청구항수 | 19 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 엘지화학 | 대한민국 | 서울특별시 영등포구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이기라 | 대한민국 | 대전 서구 |
| 2 | 김종필 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 3 | 이정희 | 대한민국 | 경기도 과천시 |
| 4 | 홍정진 | 대한민국 | 대전시 유성구 |
| 5 | 홍영준 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 6 | 김노마 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 7 | 이안나 | 대한민국 | 대전 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 함현경 | 대한민국 | 서울시 송파구 법원로 *** 대명타워 *층(한얼국제특허사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 엘지화학 | 대한민국 | 서울특별시 영등포구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2005.11.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0685342-07 |
| 2 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2005.12.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2005-0778232-31 |
| 3 | 출원심사청구서 Request for Examination |
2005.12.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0784168-03 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2006.08.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2006-0019818-11 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2006.11.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0671317-74 |
| 6 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2007.01.15 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0036504-21 |
| 7 | 의견서 Written Opinion |
2007.01.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0036490-70 |
| 8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2007.05.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0265855-93 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2007.07.13 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0512598-34 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2007.07.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0512588-88 |
| 11 | 등록결정서 Decision to grant |
2007.11.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0637752-69 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.01.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5000389-31 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.12.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5161532-51 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.11.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5227604-80 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5261818-30 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5164284-96 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 a) 중량평균분자량이 1,000 내지 20,000이고 주쇄 및 측쇄로 구성된 그라프트 형태(graft-type)의 중합체산; 및 b) 염기성 물질로 이루어진 중합체산 염을 포함하며, 양전하를 띠는 재료의 구조물과 음전하를 띠는 재료의 구조물을 동시에 연마시 양전하를 띠는 재료의 구조물에 흡착하여 음전하를 띠는 재료의 구조물에 대한 연마 선택성을 높이는 보조제 |
| 2 |
2 a) 중량평균분자량이 1,000 내지 20,000이고 주쇄 및 측쇄로 구성된 그라프트 형태(graft-type)의 중합체산; 및 b) 염기성 물질로 이루어진 중합체산 염을 포함하는 CMP(chemical mechanical polishing) 슬러리용 보조제 |
| 3 |
3 제1항 또는 제2항에 있어서, 측쇄의 길이는 분자량이 500 내지 2,000이고, 주쇄의 길이는 분자량이 500 내지 15,000인 것이 특징인 보조제 |
| 4 |
4 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 그라프트 형태의 중합체산은 측쇄로 수산화기, 카르복실기, 및 술폰산기로 구성된 군에서 1종이상 선택된 작용기를 함유하는 에틸렌성 불포화 단량체의 중합 또는 공중합으로부터 유래된 매크로 단위체(macro-unit) 및 주쇄로 카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 단량체로부터 유래된 단위체(unit)를 포함하는 것이 특징인 보조제 |
| 5 |
5 제1항 또는 제2항에 있어서, ⅰ) 하나이상의 서브단량체를 중합하여 그라프트 형태의 중합체 중 측쇄를 형성하게 되는 매크로 단량체를 중합하는 단계; 및 ⅱ) 그라프트 형태의 중합체 중 주쇄를 형성하게 되는 단량체를 상기 매크로 단량체에 공중합하는 단계를 포함하는 방법으로 제조되는 것이 특징인 보조제 |
| 6 |
6 제5항에 있어서, 상기 그라프트 형태의 중합체산은ⅰ) 수산화기, 카르복실기, 및 술폰산기로 구성된 군에서 1종이상 선택된 작용기를 함유하는 에틸렌성 불포화 단량체를 라디칼 중합하여 매크로 단량체를 중합하는 단계; 및 ⅱ) 상기 매크로 단량체에 카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 단량체를 공중합하는 단계를 포함하는 방법으로 제조되는 것이 특징인 보조제 |
| 7 |
7 제6항에 있어서, 상기 수산화기 함유 에틸렌성 불포화 단량체는 알킬기의 탄소수가 1∼12 개인 히드록시 알킬 메타크릴레이트인 것이 특징인 보조제 |
| 8 |
8 제4항에 있어서, 상기 매크로 단위체(macro-unit) 는 수산화기 및 술폰산기로 구성된 군에서 1종이상 선택된 작용기를 함유하는 에틸렌성 불포화 단량체와 카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 단량체가 공중합된 것이 특징인 보조제 |
| 9 |
9 제8항에 있어서, 수산화기 및 술폰산기로 구성된 군에서 1종이상 선택된 작용기를 함유하는 에틸렌성 불포화 단량체 : 카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 단량체는 100 : 0 내지 70 : 30의 중량비로 혼합하여 사용되는 것이 특징인 보조제 |
| 10 |
10 제4항에 있어서, 상기 그라프트 형태의 중합체산의 주쇄에 존재하는 카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 단량체로부터 유래된 단위체는 메타크릴산 또는 아크릴산으로부터 유래된 것이 특징인 보조제 |
| 11 |
11 제4항에 있어서, 상기 그라프트 형태의 중합체산의 주쇄에 존재하는 카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 단량체로부터 유래된 단위체는 총 주쇄성분 100중량부에 대하여 65 중량부 이상 100중량부 이하로 포함되는 있는 것이 특징인 보조제 |
| 12 |
12 제6항에 있어서, 상기 ii)단계의 카르복실기 함유 에틸렌성 불포화 단량체가 중합성 에틸렌기 함유 단량체와 혼합하여 사용되는 것이 특징인 보조제 |
| 13 |
13 제12항에 있어서, 상기 중합성 에틸렌기 함유 단량체가 (메타)아크릴 에스테르인 것이 특징인 보조제 |
| 14 |
14 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 b)의 염기성 물질이 수산화암모늄 또는 염기성 아민인 것이 특징인 보조제 |
| 15 |
15 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 중합체산 염의 pH가 4 |
| 16 |
16 a) 제1항 또는 제2항에 기재된 보조제;b) 연마 입자; 및c) 물을 포함하는 CMP 슬러리 |
| 17 |
17 제16항에 있어서, 보조제 0 |
| 18 |
18 제16항에 기재된 CMP 슬러리를 사용한 얕은 트랜치 소자 분리(shallow trench isolation, STI) 방법 |
| 19 |
19 연마시 a) 중량평균분자량이 1,000 내지 20,000이고 주쇄 및 측쇄로 구성된 그라프트 형태(graft-type)의 중합체산; 및 b) 염기성 물질로 이루어진 중합체산 염을 사용하여, 양전하를 띠는 재료의 구조물이 연마되는 것을 억제하는 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN101068901 | CN | 중국 | FAMILY |
| 2 | EP01844122 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
| 3 | EP01844122 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
| 4 | JP04712813 | JP | 일본 | FAMILY |
| 5 | JP20521242 | JP | 일본 | FAMILY |
| 6 | TW200704760 | TW | 대만 | FAMILY |
| 7 | TWI320055 | TW | 대만 | FAMILY |
| 8 | US07674716 | US | 미국 | FAMILY |
| 9 | US20060141741 | US | 미국 | FAMILY |
| 10 | WO2006071063 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN101068901 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | CN101068901 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 3 | JP2008521242 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 4 | JP2008521242 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 5 | JP2008521242 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 6 | JP4712813 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 7 | TW200704760 | TW | 대만 | DOCDBFAMILY |
| 8 | TWI320055 | TW | 대만 | DOCDBFAMILY |
| 9 | US2006141741 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 10 | US7674716 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
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| 특허 등록번호 | 10-0786950-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20051125 출원 번호 : 1020050113758 공고 연월일 : 20071217 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20071128 청구범위의 항수 : 19 유별 : C09K 3/14 발명의 명칭 : ＣＭＰ 슬러리용 보조제 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 1,107,000 원 | 2007년 12월 11일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 458,000 원 | 2010년 09월 29일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 458,000 원 | 2011년 10월 07일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 458,000 원 | 2012년 10월 11일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 822,000 원 | 2013년 10월 18일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 822,000 원 | 2014년 10월 17일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 822,000 원 | 2015년 09월 23일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 1,285,000 원 | 2016년 09월 28일 | 납입 |
| 제 11 년분 | 금 액 | 1,285,000 원 | 2017년 09월 19일 | 납입 |
| 제 12 년분 | 금 액 | 1,285,000 원 | 2018년 10월 16일 | 납입 |
| 제 13 년분 | 금 액 | 1,405,000 원 | 2019년 10월 16일 | 납입 |
| 제 14 년분 | 금 액 | 1,405,000 원 | 2020년 09월 28일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2005.11.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0685342-07 |
| 2 | 명세서등보정서 | 2005.12.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2005-0778232-31 |
| 3 | 출원심사청구서 | 2005.12.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0784168-03 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2006.08.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2006-0019818-11 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2006.11.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0671317-74 |
| 6 | 명세서등보정서 | 2007.01.15 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0036504-21 |
| 7 | 의견서 | 2007.01.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0036490-70 |
| 8 | 의견제출통지서 | 2007.05.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0265855-93 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2007.07.13 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0512598-34 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2007.07.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0512588-88 |
| 11 | 등록결정서 | 2007.11.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0637752-69 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.01.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5000389-31 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.12.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5161532-51 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.11.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5227604-80 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5261818-30 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5164284-96 |
| 기술번호 | KST2015040615 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | LG그룹 |
| 기술명 | ＣＭＰ 슬러리용 보조제 |
| 기술개요 |
본 발명은 a) 중량평균분자량이 1,000 내지 20,000이고 주쇄 및 측쇄로 구성된 그라프트 형태(graft-type)의 중합체산; 및 b) 염기성 물질로 이루어진 중합체산 염을 포함하며, 양전하를 띠는 재료의 구조물과 음전하를 띠는 재료의 구조물을 동시에 연마시 양전하를 띠는 재료의 구조물에 흡착하여 음전하를 띠는 재료의 구조물에 대한 연마 선택성을 높이는 보조제, 및 상기 보조제와 연마입자를 함유하는 CMP 슬러리를 제공한다.화학적 기계적 연마, CMP 슬러리, 얕은 트랜치 소자 분리 |
| 개발상태 | |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제정보가 없습니다 |
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