맞춤기술찾기

이전대상기술

카세트 세정장치

  • 기술번호 : KST2015040633
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 카세트 세정장치에 관한 것으로, 특히 카세트의 건조 및 검사 공정이 동시에 가능한 챔버에 관한 것이다. 본 발명의 특징은 카세트의 세정 공정 후 건조 및 검사공정을 동시에 진행할 수 있는 챔버를 제공함으로써, 상기 카세트 세정 공정의 공정시간을 단축하여 작업수율을 향상시키는 효과가 있으며, 세정장치의 설치공간을 줄일 수 있는 것을 특징으로 한다. 카세트, 세정공정, 건조공정, 검사공정, 챔버
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) G02F 1/13 (2006.01)
CPC H01L 21/67051(2013.01) H01L 21/67051(2013.01) H01L 21/67051(2013.01) H01L 21/67051(2013.01) H01L 21/67051(2013.01)
출원번호/일자 1020050114875 (2005.11.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1272894-0000 (2013.06.03)
공개번호/일자 10-2007-0056347 (2007.06.04) 문서열기
공고번호/일자 (20130611) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.19)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이소천 대한민국 경기도 부천시 원미구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2005-0695016-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0757391-18
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.09.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0076576-16
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0559939-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0945668-04
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0945667-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0253406-43
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0486106-13
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0486104-11
15 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0714077-50
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0080378-37
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.28 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2013-0080379-83
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0212026-36
19 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2013.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0212017-25
20 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.04.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2013-0017066-26
21 등록결정서
Decision to grant
2013.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0378851-24
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
노즐이 구성된 세정챔버와;상기 세정챔버 와는 별도로 구성되며, 열풍배관과, 다수의 센서가 구성된 건조 및 검사 일체형 챔버를 포함하며, 상기 건조 및 검사 일체형 챔버는 카세트를 안착시키기 위한 지지대와, 상온보다 높은 고온열풍을 분사하는 적어도 두개 이상의 열풍배관과, 상기 카세트의 기울어짐을 검사하기 위한 다수의 센서와, 상기 카세트의 서포트바의 피치간격의 변동여부를 검사하기 위한 사이드 슬럿 센서(side slot sensor)를 더욱 포함하며,상기 열풍배관은 상기 건조 및 검사 일체형 챔버의 각 모서리에 서로 마주보도록 배치되며,상기 사이드 슬럿 센서는 상하로 승강하고,상기 카세트는 일측면이 개방되어 입구면을 형성하고 상부면과 하부면 각각에 상, 하 플레이트가 형성되며, 상기 입구면의 양 측면에는 슬럿핀이 형성된 제 1 프레임바가 형성되고, 상기 입구면과 마주하는 반대면에는 제 2 프레임바가 위치하며 상기 제 2 프레임바에는 상기 슬럿핀과 동일한 간격으로 상기 서포트바가 형성되고, 상기 카세트는 상기 상, 하 플레이트가 수직하도록 상기 지지대에 안착되고, 상기 사이드 슬럿 센서는 상기 입구면에 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 세정챔버의 노즐에서는 순수(deionizer water) 및 청정건조공기(clean dry air)를 분사하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 다수의 센서는 상기 챔버의 각 모서리에 하나씩 구성하여 적어도 8개 이상 구성하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
6 6
세정챔버 내로 카세트가 안착되는 단계와, 상기 카세트에 순수 및 청정건조공기를 분사하는 세정 공정 단계와;상시 세정 공정 후, 상기 카세트를 건조 및 검사 챔버 내로 안착하는 단계와;상기 건조 및 검사 챔버의 열풍배관이 상기 카세트에 상온보다 높은 고온 열풍을 분사하는 동안, 상기 챔버에 다수로 구성된 센서가 상기 카세트의 기울어짐을 검사하고, 사이드 슬럿 센서를 통해 상기 카세트의 서포트바의 피치간격을 검사하는 단계를 포함하며,상기 열풍배관은 상기 건조 및 검사 챔버의 각 모서리에 서로 마주보도록 배치되며,상기 사이드 슬럿 센서는 상하로 승강하고,상기 카세트는 일측면이 개방되어 입구면을 형성하고 상부면과 하부면 각각에 상, 하 플레이트가 형성되며, 상기 입구면의 양 측면에는 슬럿핀이 형성된 제 1 프레임바가 형성되고, 상기 입구면과 마주하는 반대면에는 제 2 프레임바가 위치하며 상기 제 2 프레임바에는 상기 슬럿핀과 동일한 간격으로 상기 서포트바가 형성되고, 상기 카세트는 상기 상, 하 플레이트가 수직하도록 상기 건조 및 검사 챔버에 형성된 지지대에 안착되고, 상기 사이드 슬럿 센서는 상기 입구면에 위치하는 카세트 세정 공정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.